Ba0.7Sr0.3TiO薄膜的制备、结构及性能研究.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第 1期 无 机 材 料 学 报 v0l 17 No 1 2002年 1月 JournalofInorganicM aterials Jan 2002 文章编号：1000—324X(2002)01—012~06 Bac)l7Sr TiO3薄膜 的制备 、结构及性能研究 叶 扬，丁爱丽，唐新桂，罗维根 (中国科学院上海硅酸盐研 究所无机功能材料开放实验 室，上海 200050) 摘 要 ；研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液，用 sol—gel法在 Pt／Ti／siO2／si(10O) 基底上成功地制各 出具有优 良电学性能的 Bao?Sro3TIO3薄膜 ．乙二醇的加入有效地 增加了前 驱液的稳定性 并 降低薄膜的结 晶温度 ．利 用 XRD 、DTA等技术分析了凝胶热处理过程 中 相变化情况及薄膜厚度与成相的关系．厚度 20Ohm 02气氛中700。