Lanxide技术合成含烧结助剂的复合AlN粉体.pdfVIP

维普资讯 第 18卷 第 6期 无 机 材 料 学 报 、，01．18．No．6 2003年 11月 JournalofInorganicM aterials Nov．，2003 文章编号：1000—324X(2003)06—1351—06 Lanxide技术合成含烧结助剂的复合 A1N粉体 林志浪 ，v，郑新和 2，王 群 3，周美玲 3 (1．中国科学院上海微 系统与信息技 术研 究所离子束 重点实验 室，上海 200050； 2．中国科 学院半导体研 究所，北京 100083；3．北京工业大学材料科 学与工程学 院，北京 100022) 摘 要 ：高纯度 的氮气中，以A1一Mg-Y合金为母合金，利用 Lanxide技术合成了含烧结助剂 Y203的复合 A1N粉体 ．通过扫描电镜 、x射线衍射 、粒径分析及化学成分分析等检测手段对 氮化产物进行表征．实验结果表 明，合金氮化反应完全 ，氮化产物疏松易于粉化 ．粉化后获得