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微波管高温烘排时阴极温度的估算 阴生毅张永清丁耀根张洪来廖显恒 (中国科学院电子学研究所北京100080) 摘要针对微波管高温烘排时阴极温度确定缺乏理论指导的问题，本文提出了一种将炉温等效为 热子温度的估算方法。采用这一方法可简便地估算出钡钨阴极及氧化物阴极在烘排时的温度。本 文还对烘排炉温对阴极温度的贡献进行了讨论。 关键词：微波管；高温烘排；阴极：热子 1．概述 高温烘排是微波管获得良好真空环境必不可少的一道重要工序。高温烘排时，阴 极即承受烘排炉炉丝的加热，同时又承受阴极背后热子的加热，阴极温度是由两种加 热体共同加热形成的。由于阴极被密封于微波管内，难以对其温度直接进行测量，因 此，在烘排时只能对其温度进行预估。目前，对阴极温度的预估主要采取经验性的方 ℃；在烘排时取炉温为400℃-450℃和取热子电流为I¨，即可使烘排时阴极的温度 接近或低于1050℃。 对于阴极而言，其在高温烘排时的真实温度值将直接影响阴极的使用性能：阴极 温度偏低，造成阴极激活不足，阴极发射电流偏小，阴极气体残余偏多等问题；阴极 温度偏高，造成阴极过激活，阴极发射电流下降，同时有可能造成阴极蒸发过度，使 电子枪绝缘性能显著下降。 鉴于阴极温度的重要性以及现有温度预估缺乏理论指导的情况，我们提出应从理 论上对烘排时阴极温度的估算进行尝试，以期建立有效的估算方法。围绕阴极温度的 理论估算，本文给出了一种新的估算方法，并且采用一些经验数据对估算方法进行了 验证，另外还给出了对简化条件的说明以及炉温对阴极加热温度的贡献。 2． 阴极烘排温度的估算方法 2．1 将炉温等效为热子的温度 我们知道，在高温烘排时，对阴极温度贡献最大的是热子的加热，阴极温度取决 于热子加热及其传热过程。基于这样的考虑，我们想到，可将炉温加热等效为热子的 加热，具体是将炉温等效为热子的温度，这样一来，阴极的加热就全部等效为热子的 加热。 当炉温加热至400。C并保持相当长一段时间后，在热子不加热的情况下，阴极温 度同样会达到400。C。现在将阴极的温度等效为热子加热的结果，根据经验，一般情 况下，热子温度高出阴极的温度500。C，作等效处理，这400。C炉温相当于热子温度 加热至900℃。 34 1470℃。 2．2加热能量叠加 我们知道温度量纲在很多情况下是不能直接叠加的，需要将其转化为可叠加的量 纲。我们想到应将温度转化为热能。文献[1]中有关钨的性质部分，给出了钨在不同 温度下的单位圆筒功率。利用这些数据我们便可将不同的热子温度，直接转化单位圆 筒功率P。。利用本文附录中引用的部分数据，我们可以查出热子温度加热至900℃时 钨丝温度为1470℃时，对应的钨丝单位圆筒功率为38．85W／am2。 将热子温度分别加热至900C和1470。C的单位圆筒功率叠加，总的等效加热功率 为4．67W／cm2+38．85W／am2=43．52W／am2。 2．3阴极温度估算 同样利用附录1的数据，由热子等效功率估算出热子的等效温度。热子温度为 W／cm2。 1427C时，热子功率为33．28W／cm2．；热子温度为1527。C时，热子功率为44．54 由此得到，当等效加热功率为43．52 ×8．9℃／l(W／cm2)=1518℃。 接下来，将热子温度再推回阴极温度，得到阴极实际温度为： 1518℃一500℃=1018℃ 3．某多注速调管烘排时阴极温度验证 某多注速调管电子枪在真空钟罩中预排时，热子电流为12A、14A和15A所对应 的覆膜浸渍钡钨阴极(M型阴极)温度分别为860。C、970。C$D1040。C。该速调管现 行烘排工艺是将炉温升至400。C保温一段时间，然后逐步将热子电流加增加至14A并 保温。根据俄罗斯相应管型的经验数据，此烘排工艺对应的阴极温度约为10200c～ 1040℃。 采用前面的估算方法，得到此烘排工艺对应的阴极温度为1018。C。显然，此估 算温度与俄罗斯经验数据(1020℃～1040。C)十分接近。 上述验证表明，本文采用的阴极温度估算方法是合理可行的。 4．估算氧化物阴极烘排时的温度 某氧化物阴极烘排工艺为：炉温50