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PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究.pdfVIP

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  • 2015-08-22 发布于未知
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PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究.pdf

    无机材料学报

    维普资讯 第 14卷 第 3期 无 机 材 料 学 报 l白 1 No 3 1999年 6月 JournalofInorganicMaterials June 1999 PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究 ， 越 殷庆瑞 f‘、 f中国科 学院无机功 能材料开放实验 室 中国科学院上海硅酸盐研究所 上海 2ooo~o) 产 摘 要 下 、 采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜 ／金属 内电极共烧技术．制作了多层片式高古铅PZT

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