SiO2薄膜对蓝宝石表面及高温强度的改善.pdfVIP

维普资讯 第 21卷 第 1期 无 机 材 料 学 报 Vo1．21，No．1 2006年 1月 JournalofInorganicMaterials Jan．，2006 文章编号：1000—324X(2006)01—0217—06 SiO2薄膜对蓝宝石表面及高温强度的改善 冯丽萍，刘正堂 (西北工业大学材料学院，凝 固技术 国家重点实验室，西安 710072) 摘 要 ： 蓝宝石具有一系列优异的光学和力学性能，使其成为红外透过窗口与头罩中备受青 睐的材料．然而随温度的升高蓝宝石沿c轴的抗压强度急剧降低，大大限制了蓝宝石的抗热震 等许多性能．提高蓝宝石高温强度的研究已成为蓝宝石在高速、高温应用 中一个亟待解决 的重 要课题．本文采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬底上制备了SiO 涂层．利用三点弯曲法测 试了镀膜及未镀膜蓝宝石试样的室温及高温抗弯强度，测量了镀膜前后蓝宝石试样的表面形貌 及粗糙度，采用压痕裂纹法分析了镀膜前后蓝宝石的表面残余应力．结果表明，镀 SiO 薄膜 可以改善蓝宝石的