北大-扫描电镜实验课教案.pdfVIP

5-3 扫描电子显微镜 （教案） 实验的目的要求： 1. 了解扫描电子显微镜的工作原理和掌握其使用办法 2. 用扫描电子显微镜观察不同金刚石膜的形貌像并加以讨论 教学内容： 1. 画出扫描电子显微镜的原理图， 2. 能够看说明书自己正确操作扫描电子显微镜， 3. 通过观察不同粗糙度 Si 衬底表面上生长出金刚石膜的相貌像，讨论为什么粗糙度大的 衬底上金刚石膜厚，并对之作出解释。 实验过程中可能涉及的问题： 1. 扫描电子显微镜是一种比较理想的表面分析工具，可以直接观察大块样品的表面，且样 品制备方便。 2. 扫描电子显微镜的景深大，放大倍数连续可调的范围大，分辨本领较高，所以它成为了 固体材料断口和显微组织三维形态的观察用的有效工具。 3. 扫描电子显微镜不仅能做表面形貌像的分析，而且配备相关附件后，还可以做表面成分 分析及表层晶体学位相分析。 4. 扫描电子显微镜中也要用到外加磁场对其电子枪发射出的电子束进行约束。此约束的最 终目的是什么？它与透射电子显微镜中的磁场对电子束的作用有何不同？扫描电镜中 的磁场用于使电子束会聚成纳米量级的束斑，透射电镜中