微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析.pdfVIP

工业技术 I■ ChinaseienceandTechnologyReview 微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析 于海洋 张英杰 (谱尼测试科技股份有限公司 100080) [摘 要]微机械悬臂梁的优化设计，需要对于其具体性能要求为基础来进行理论工作。以其机械噪声控制为例，就需要综合考量到温度 ，压力和频率对其造 成的影响 文章正是从这个角度出发，积极探析微机械悬臂梁中的机械噪声控制。 [关键词]微机械悬臂梁 机械噪声 噪声控制 中图分类号：X358．5 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—914X(2014)38—0006一O1 此次研究分析工作，以微电子机械系统为基础，其具备响应速度快，灵敏度 声与温漂噪声引起的谐振频率抖动与温度之间报出正比例关系，也就是说，温 理想 ，功耗低的特点，可以在微机械元件发生环境变化的时候 ，产生敏感的反 度越高，其抖动会更加厉害。相对来讲，温度与吸附—脱附噪声的谐振频率抖动 应，也就是噪声。在此基础上建立微机械热机械噪声理论模型，为开展机械噪声 成反比关系，温度越高，其抖动频率越低。也就是说，在温度不断升高的情况下， 影响因素的研究打开局面。 热运动和温漂效应占据主导，是噪声的主要来源 ，此时的吸附脱附噪声并没有 一 微机械悬臂梁的理论概况 表现出比较高的抖动频率 但是当谐振频率超过lOmhz的时候，吸附脱附噪声 1．1悬臂粱机械噪声的基本情况 会占据主导地位，并且超越热机械噪声，成为主要的噪声机制，此时其与温度之 悬臂梁是微电子机械系统的重要组成部分，在很多元件构成上都采用了悬 间的关系依然保持着反比例关系。 臂梁这样的敏感材质，如原子力显微镜探针，生化传感器等。其分辨率和稳定性 以各个噪声机制引起谐振频率抖动与气压关系的示意图来看，得出以下结 均可以达到此部位效能的要求，是因为其造成控制处理在合理范围内。基于这 论：其一，热机械噪声引起的谐振频率抖动与气压保持着正比例的关系，气压不 样的概念认识，去开展研究工作。可以保证其更加具备针对性。 断增加 ，其抖动的情况更加严重。与此相反 ，温漂噪声变化与气压层正比例关 1．2理论模型中的基础概念 系 ，也就是随着气压的不断增加，其噪声谐振频率抖动的越发严重t其二，微机 在理论模型构建的过程中，会涉及到以下几个基础性概念 ：其一 ，热机械噪 械结构的热导的不断征集 ，会使得其环境发生变化 ，由此使得温漂噪声失去了 声，在微电子机械系统体系中，尺寸和质量减少的状态下，其热运动会对于悬臂 赖以生存的环境，其三，吸附_脱附噪声会随着气压的不断变化产生极值现象， 梁造成十分明显的影响，主要表现为空气分子与悬臂梁的碰撞，悬臂梁与晶格 并且会在微机结构表面产生反应，当达到一定范围的时候，就会产生相应的极 之间的振动。其二，温漂噪声，由于悬臂梁体积比较小，其比热很小，在进行声子 大值，其四，当气压达到一定水平的时候，热机械噪声会占据主导，此时的频率 速率吸收或者释放的时候，存在瞬间差异，在这样的情况下回使得悬臂梁产生 抖动与气压之间保持着正比例关系。 群 警 n强 著 吾 0 ¨ } ¨ ” ¨ ¨ 温度变化，以此因此声音抖动和频率的变化。其三，吸附—脱附噪声，由于悬臂 下图为最小可检测质量与频率变化的示意图。从下图中可 以得出以下结 梁有着 比较大的比表面积，在对于空气分子进行吸收和脱附的时候 ，也会出现 论：谐振频率抖动会随着频率的增加出