烧结技术对99BeO陶瓷材料结构与性能影响.pdfVIP

第 25卷 第 4 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 25, No. 4 2010年 4 月 　 Journal of Inorgan ic M aterials 　Ap r. , 20 10 文章编号 : 1000324X (20 10) 04 04 1504 DO I: 10. 3724 / SP. J. 1077. 2010. 004 15 烧结技术对 99BeO 陶瓷材料结构与性能影响 钟朝位 , 梁 剑 , 张树人 , 张韶华 , 李 波 (电子科技大学 电子薄膜与集成器件重点实验室 , 成都 6 10054) 摘 要 : 系统研究了传统烧结方法 、台阶式烧结方法和两步烧结方法对 99B eO 陶瓷微结构和性能的影响. 研究发现 : 台 阶式烧结有助于 99B eO 陶瓷的晶粒细化 ,两步法烧结有助于提高 99B eO 陶瓷的热导率. 实验优化了两步法中第一阶段 烧结温度 T 、第二阶段烧结温度 T 及保温时间 t等工艺参数. 结果表明 ,在 T 为 1630 ℃, T 为 1550 ℃, t为 4h 时可获 1 2 1 2 得晶粒均匀 、结构致密 ,热导率为 308W / (m ·K) ,密度为 2. 95g/ cm3 的 99B eO 陶瓷. 关 　键 　词 : 两步法烧结 ; 99B eO 陶瓷 ; 热导率 ; 密度 ; 晶粒尺寸 中图分类号 : TQ 174　　　　　　文献标识码 : A Effects of S in ter ing Techn iques on the M icrostructure and Perform ance of H igh Pur ity Bery llium O x ide C eram ic s ZHON G ChaoW e i, L IAN G J ian , ZHAN G ShuR en , ZHAN G ShaoHua, L I Bo ( State Key L aboratory of E lectron ic Th in Film s and In tegrated D evice s, U n iversity of E lectron ic Science and Techno logy of Ch i na, Chengdu 6 10054 , Ch ina) A b stract: The effects of traditional, m u ltistep and twostep sin tering techn ique on the m icro structu re and p erform ance of h igh p u rity beryllium oxide ceram ic s were inve stigated. It wa s found that the grain size of 99B eO ceram ic s cou ld be con tro lled by the m u ltistep sin tering m ethod, and the therm al conductivity cou ld be elevated via twostep