用磁控溅射和退火方法制备AlSb多晶薄膜.pdfVIP

第 27 卷 　第 3 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 27 　No . 3 2006 年 3 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Mar . ,2006 用磁控溅射和退火方法制备 Al Sb 多晶薄膜 陈卫东 　冯良桓 　雷 　智 　张静全 　武莉莉 　蔡 　伟 　蔡亚平 　姚菲菲 李 　卫 　黎 　兵 　郑家贵 ( 四川大学材料科学与工程学院 , 成都 　6 10064) 摘要 : 采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备 Al/ Sb 预制多层薄膜 ,然后将 Al/ Sb 预制多层薄膜在退火炉中退火得到 ( ) ( ) Al Sb 多晶薄膜.