磁控溅射ITO薄膜的退火处理.pdfVIP

第 16卷 　第 2 期 材 　料 　科 　学 　与 　工 　艺 Vol16 No2 　 　 2 0 0 8年 4 月 MA TER IAL S SC IENCE TECHNOLO GY Ap r. , 2008 　　　　　　 磁控溅射 ITO 薄膜的退火处理 王 　军 ,成建波 ,陈文彬 ,杨 　刚 ,蒋亚东 ,蒋 　泉 ,杨健君 (电子科技大学 光电信息学院 , 成都 6 10054 , Em ail: aaajun@ etang. com ) (