溶胶凝胶法制备的ZnOAl薄膜的微观结构及光学电学性能.pdfVIP

第42卷 第5期 金属学跋 V61．42NO．5 2006年5月505—510页 ACTAMETALLURGICASINICA Mav2006 PP．505—510 溶胶一凝胶法制备的ZnO：A1薄膜的 微观结构及光学、电学性能 周宏明 易丹青 余志明 肖来荣 李荐 王斌 (中南大学材料科学与工程学院，长沙410083) 摘 要 性能的影响．结果表明，退火温度越高，多晶Azo薄膜的(001)晶面择优取向生长的趋势越强，并且随退火温度升高，薄膜的 晶粒尺寸增大，透光率增加．薄膜晶体结构为纯Zno的六角纤锌矿结构．在掺杂浓度l％(摩尔分数)、退火温度500℃及镀膜 层数10的条件下，得到了电阻率为3．2×10一。Q·cm、可见光区的平均透射率超过90％的AZO薄膜． 关键词 ZnO：AI(AZO)薄膜，溶胶～凝胶法，微观结构，光学、电学性能 中图法分类号TB383 文献标识码A