LED用蓝宝石单晶衬底抛光工艺研究.pdfVIP

LED用蓝宝石单晶衬底抛光工艺的研究 胡晓凯 宋志棠 刘卫丽 汪海波张泽芳 王良泳 中科院上海微系统与信息技术研究所，信息功能材料 国家重点实验室，纳米技术研究室，上海200050 摘要：本论文研究了蓝宝石抛光初始阶段抛光速率与下压力、抛光转速两项工 艺参数的关系；分析了抛光过程中摩擦系数的动态变化规律。结果表明，抛光速率大 致正比于下压力，即随压力增大抛光速率线性加快；而抛光转速对抛光速率则影响不 大。摩擦系数动态监测表明，随着抛光的进行，动摩擦系数缓慢增加。 关键词：蓝宝石；抛光；摩擦系数；纳米氧化硅抛光液 ChemicalMechanicalPolishing TechnologyforSapphireSingle-crystalSubstrate HUXiaokai SONGZhitangLIUWeiliWANGHaibo ZHANGZhefangWANGLiangyong StateKeyLaboratoryofFunctionalMaterialsforInformatics,Laboratory ofNanotechnology,ShanghaiInstituteofMic