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Cu,Ag,Ni掺杂TiB2基涂层的结构及韧性研究.pdf

2014年12月 材 料工 程 December2014 JournalofMaterials 第12期第79—85页 Engineering No.12PP.79—85 Cu,Ag,Ni掺杂TiB2基涂层的 结构及韧性研究 ⅣIicrostructureand of Based TiB2 Toughness with andNi CoatingsCu,Ag Doped 王怀勇1’2,李胜祗1,郭军2,王 博2,朱 萍2,黄峰2 (1安徽工业大学材料学院,安徽马鞍山243002; 2中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201) WANG Jun2,WANGB02, Huai—yon91’2,LISheng—zhil,GUO ZHU Pin92,HUANGFen92 (1 ofMaterials,Anhuiof College University 243002,Anhui,China;2InstituteofMaterials and Ningbo Technology of Engineering,ChineseAcademySciences,Ningbo SEM分析涂层结构,并通过塑性指数“、划痕和压痕三种手段对涂层韧性进行表征。结果表明:掺杂金属在涂层中的存 在形式不同,导致对涂层晶粒和生长结构的影响不同,其中Ag以晶体形式存在,未发现Cu和Ni的晶相;三种涂层均存 而TiBz—Ag涂层柱状结构趋于消失,表面无明显颗粒。结构的不同对涂层的力学性能有明显影响,所有涂层均保持在较 高的硬度(35GPa),三种金属都对涂层韧性有所改善,其中Ni最为显著,Cu和Ag相对较差。 关键词:磁控溅射;TiB2一Ni;TiB2一Cu;TiB2一Ag;划痕;韧性 doi:10.1 1868/j.issn.1001—4381。2014.12。014 中图分类号:0484文献标识码:A 文章编号:100卜4381(2014)12—0079—07 methodwasusedto based withabout10% TiB2 coatings Abstract:Magnetronco—sputtering prepare (atom microstructureof was dif— fraction)metal(Cu,Ag,Ni)doped.ThecoatingsanalyzedbyX—ray fraction(XRD)andelectron

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