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2015-08-31 发布于湖北
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CVD高纯钦过程中杂质Mn的热力学行为分析.pdf

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CVD高纯钦过程中杂质Mn的热力学行为分析.pdf

·66· 轻金属 2010年第8期 CVD高纯钛过程中杂质Mn的热力学行为分析李武斌，陈肖虎，曾英，王舟，韩涛 (贵州大学材料与冶金学院，贵州贵阳550003) 摘要：以卤化荆扣海绵钛为原料，采用特殊的工艺设备，利用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛。对高纯钛设备过程中Mn的行为进行了热力学分析；在卤化源区73．15K一973．15K条件下，杂质元素Mn与I形成Mnl2；在沉积区温度1400K一1650K条件下。Mh不发生分解，可以抑制杂质元素Mn的污染；文章结合实验条件对高纯钛中的杂质Mn 的污染途径做7分析。关键词：bin；热力学；高纯钛；杂质中图分类号：TF823文献标识码：A文章编号：1002—1752(20lo)08—66—4 ofMn behaviorinCVD Study thermodynamic U andHAN—Tao Wu—bin，CHENXiao—hu，ZENG—Ying，WANG—Zhou Materialsand (Cot拓geof Metallurgy，GuizhouUnivers蚵，guiyang550003，China) inour hasbeen Abstract：The titaniumWa$used舶raw special titanium halogenendⅫg}I materials。andprocessw∞adoptedexperiments，high叫ty theCVD forthe actionofMnWH inthe of titanium．Inthehalide by disquisitionthermodynamic pmpamdusing pmce∞．The analyzedprocesshi【shpure be Mn elementcart the of 蝴tempomtureaf773．15K一973．15K，theimpurity changedMnl2“thI；In deposition蝴temperature1400K一1650K， be ofMn c“not this it叫Iinkibitthe element．1he ofMn dementinthe Mnl2 aecompe∞d，gOway pollutionimpurity pollutionway impurity higllpurity conditions． byexperimental titanium哪酬ped Keywords：Mn；thcnuodynamics；higlltitanium；impurity purity 引言集成电路的发展带动了对高纯钛的需求，高纯钛以钛硅化合物(TiSi x)、氮化钛(TiN)、钨钛(W—Ti) 高纯钛是指其纯度达到4N级(99．99％)，甚至等形式用于控制电极、扩散阻挡层和配线材料，若材