Pechini方法制备铌酸锂薄膜的研究.pdfVIP

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Pechini方法制备铌酸锂薄膜的研究.pdf

Vol_22 第11期 无 机 化 学 学 报 No.11 CHINESE OFINORGANICCHEMISTRY Nov..2006 2006年11月 JOURNAL Pechini方法制备铌酸锂薄膜的研究 赵九蓬★ 强亮生 权茂华 张 蕾 f哈尔滨工业大学应用化学系,哈尔滨 150001) 磁共振、拉曼光谱和红外光谱分析研究了柠檬酸与金属离子的配位情况,提出了一种Nb.柠檬酸配合物可能的分子结构,即柠 曼光谱和XRD分析了LiNbO,薄膜在不同温度下热处理的相组成和结构。结果表明,600℃下退火2h可得到单相多晶LiNbO, 薄膜.薄膜表面致密、平整,晶粒的平均尺寸为50nm。 关键词:LiNb03薄膜;Pechini方法;Nb一柠檬酸配合物 文献标识码:A 中图分类号:0614.11;0614.51+2;TQl74 文章编号:1001—4861(2006)11-1957—05 of ThinFilmsPechiniMethod LiNb03 by Preparation ZHAO Mao-HuaZHANGLei Liang—ShengQUAN Jiu-Peng+QIANG Institute Technology,Harbin (DepartmentofAppliedChemistry,Harbinof 150001) Abstract:Lithiumniobatethinfilmshavebeen onPt/Ti/Si02/Si(100)substratesby Pechini deposited using cationsarechelatedinan solutionwithcitricacidas method.Themetal aqueous chelatingagent.The beencharacterizedcarbonnuclear resonance f13C ofthemetal.citricacidsolutionshas by magnetic spectroscopy ofNb—citric andFouriertransform molecularstructure NMR),Ramanspectroscopy infrared(FTIR).Apossible acid is acidcoordinatestoNb5+ion oneterminal complexproposed,i.e.citric through carboxylgroup,thehydrox— thecentral asa tridentate thermal ofLi—Nb ylgrou

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