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Pechini方法制备铌酸锂薄膜的研究.pdf
Vol_22
第11期 无 机 化 学 学 报 No.11
CHINESE OFINORGANICCHEMISTRY Nov..2006
2006年11月 JOURNAL
Pechini方法制备铌酸锂薄膜的研究
赵九蓬★ 强亮生 权茂华 张 蕾
f哈尔滨工业大学应用化学系,哈尔滨 150001)
磁共振、拉曼光谱和红外光谱分析研究了柠檬酸与金属离子的配位情况,提出了一种Nb.柠檬酸配合物可能的分子结构,即柠
曼光谱和XRD分析了LiNbO,薄膜在不同温度下热处理的相组成和结构。结果表明,600℃下退火2h可得到单相多晶LiNbO,
薄膜.薄膜表面致密、平整,晶粒的平均尺寸为50nm。
关键词:LiNb03薄膜;Pechini方法;Nb一柠檬酸配合物
文献标识码:A
中图分类号:0614.11;0614.51+2;TQl74 文章编号:1001—4861(2006)11-1957—05
of ThinFilmsPechiniMethod
LiNb03 by
Preparation
ZHAO Mao-HuaZHANGLei
Liang—ShengQUAN
Jiu-Peng+QIANG
Institute
Technology,Harbin
(DepartmentofAppliedChemistry,Harbinof 150001)
Abstract:Lithiumniobatethinfilmshavebeen onPt/Ti/Si02/Si(100)substratesby Pechini
deposited using
cationsarechelatedinan solutionwithcitricacidas
method.Themetal aqueous chelatingagent.The
beencharacterizedcarbonnuclear resonance f13C
ofthemetal.citricacidsolutionshas by magnetic spectroscopy
ofNb—citric
andFouriertransform molecularstructure
NMR),Ramanspectroscopy infrared(FTIR).Apossible
acid is acidcoordinatestoNb5+ion oneterminal
complexproposed,i.e.citric through carboxylgroup,thehydrox—
thecentral asa tridentate thermal ofLi—Nb
ylgrou
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