第七章__压电式传感器.pptVIP

7.1 压电式传感器的工作原理 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的 压电效应，是典型的双向有源传感器。当材料受力作 用而变形时, 其表面会有电荷产生，从而实现非电量 测量。 压电式传感器具有体积小、重量轻、工作频带宽 等特点，因此在各种动态力、机械冲击与振动的测 量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非 常广泛的应用。 7.1.1 压电效应 压电效应： 某些电介质，在沿一定方向上受到外力的作用而 变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个表 面上生成符号相反的电荷，当外力去掉后，它又会恢 复到不带电状态，这种现象称为压电效应。 具有这种压电效应的物体称为压电材料或压电元 件。常见的压电材料有石英，钛酸钡等。 7.1 压电式传感器的工作原理 压电效应是可逆的。 逆压电效应： 在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质 也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消 失，这种现象称为逆压电效应，或叫做电致伸缩效 应。 7.1.1 压电效应 1.石英晶体的压电效应 石英晶体是最常用的压电晶体之一。 其化学成分 为SiO2，是单晶体结构。它理想的几何形状为正六面 体晶柱，如图所示。 7.1.1 压电效应 经过正六面体（两相对）棱线且垂直于光轴的x轴 称为电轴；与x轴和z轴同时垂直的y轴称为机械轴，如 图所示。 通常把沿电轴方向的力作用下产生电荷的压电效 应称为“纵向压电效应”; 把沿机械轴方向的力作用下产生电荷的压电效应， 称为“横向压电效应”。作用力为剪切力时称为“切向压 电效应”。 7.1.1 压电效应 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。组成 石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影，如图(a)。 为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排 列，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 7.1.2 压电常数和表面电荷的计算 从晶体上沿轴线切下的一片平行六面体称为压电 晶体切片，如图所示。 若晶体切片受到x方向的压力Fx作用，晶片将产生 厚度变形，并发生极化现象,在x方向所产生的电荷qx 与作用力Fx成正比，即 在Y轴方向施力时,产生电荷大小为: 7.1.2 压电常数和表面电荷的计算 压电常数dij有两个下标，即i和j ，其中 i = 1,2,3 表示在垂直于x,y,z轴的晶片表面即x,y,z面上产生的 电荷。 下标j = 1,2,3,4,5,6， 其中j = 1,2,3分别表示晶 体沿x,y,z轴方向承受的正 应力，j = 4,5,6则分别表 示晶体在x,y,z面上承受的 剪切应力。 7.1.2 压电常数和表面电荷的计算 从式（7.1）中可以看出切片上产生的电荷多少与 切片的尺寸无关，即qx与Fx成正比。电荷qx的符号由晶 体受压还是受拉而决定，如图 (a)、(b)。 从(7.2)可看出y轴方向受力后，切片上产生的电 荷与切片的尺寸有关，qy与Fy成正比，电荷qy的符号由 晶体受压还是受拉而决定，如图 (c)、(d)。 7.1.2 压电常数和表面电荷的计算 推广到一般情况，即石英晶片在任意的多方向的 力同时作用下的全压电效应，可由下列压电方程表示： 石英晶体 压电效应 石英晶体切片受力图 图7.3 7.3 压电式传感器的等效电路 1、等效电路 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一个静电发生器，如图(a)。也可把它视为两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体的电容器，如图(b)。 其电容量为 7.3 压电式传感器的等效电路 当两极板聚集异性电荷时，则两极板呈现一定的电 压，其大小为 因此，压电传感器可 等效为电压源Ua和一个 容器Ca的串联电路，如 图(a)；也可等效为一个 电荷源q和一个电容器Ca 的并联电路，如图(b)。 7.3 压电式传感器的等效电路 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量 电路相连接，因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc， 放大器的输入电Ri，输入电容Ci以及压电传感器的泄 漏电阻Ra，这样压电传感器在测量系统中的实际等效 电路如图所示。 7.3 压电式传感器的等效电路 7.3 压电式传感器的等效电路 2、压电元件的常用结构形式 在压电传感器中，为了提高压电元件的灵敏度， 通常不采用单片结构，而是采用