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光学零件工艺学 ◆ 第六章 抛 光 光学零件的抛光是获得光学表面最主要的工序。其目的：一是去除精磨的破坏层，达到规定的表面质量要求，二是精修面形，达到图纸要求的光圈和局部光圈，最后形成透明规则的表面。 光学零件的抛光工艺 ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ 玻璃抛光机理 ◆玻璃抛光机理 机械磨削 ★机械磨削 表面流动理论 ★表面流动理论 化学作用 ★化学作用 §6-2 样板检验原理 被检验光学表面相对于参考光学表面的偏差称面形偏差 若两者的面形（球面或平面）不一致，存在微小误差时，就形成一个楔形空气隙，类似一个薄膜，从而产生薄膜干涉现象。 若用单色光源，空气隙呈环形对称时，则产生明暗相间的同心圆干涉环，用白光照射产生彩色圆环。这些圆环称作光圈，又叫牛顿环。 光学零件面形偏差是在圆形检验范围内，通过垂直位置所观察到的光圈数目、形状、变化和颜色来确定的，并且面形误差用光圈数表示，所以，样板检验亦称“光圈检验”。 光圈的识别 ◆光圈的识别 （一）光圈数N与空气隙厚度△h的关系 两束光的光程差表达式为： 式中， -与干涉条纹对应的空气隙厚度； -折射角； -入射光的波长。 当 时，产生第k级亮条纹。 当 时，产生第k级暗条纹。 第k级和k＋1级亮条纹，所对应的空气隙厚度为 和 ，由下式表示： （二）光圈数N与曲率半径偏差△R的关系 光学零件曲率半径与工作样板半径之间的偏差，以干涉条纹数，即光圈数N表示。值不仅取决光圈数N、零件与样板的接触口径D（在此口径范围内显示于涉环）干涉光的波长，还取决于样板是沿边缘接触（低光圈），还是在中部接触（高光圈）。 样板与透镜沿边缘接触情况 （三）光圈半径 与波长 的关系 为第 级暗条纹所对应的空气层厚度 为 级暗条纹对应的干涉条纹半径， 为透镜的曲率半径。 满足暗条纹条件为 = （四）相邻光圈的间隔 与干涉级的关系 当k＝0时 当k逐渐增大时， 愈来愈小,即 逐渐减小，以致眼睛无法分辨，k的极限可由物理光学得知 : 为人眼所能分辨的波长范围,用白光照射平均波长 条 二、光圈的识别与度量 低光圈: 用样板检验工件时，如果两者在边缘接触，当空气隙缩小时，条纹从边缘向中间移动，则称低光圈 高光圈:用样板检验工件时，如果两者在中间接触，当空气隙缩小时，条纹从中心向边缘移动，则称高光圈 。 识别光圈高低常用方法有三种 ： 1. 周边加压法 ：此方法适用于光圈N1的判断。 采用周边加压法，识别光圈高低的原理是，将样板置于零件上，两者间存在空气隙，在样板周边加压时，则使空气隙由厚变薄，即空气隙由大变小。这样与对应的干涉条纹也随之移动。对于低光圈，空气隙,等厚层的移动方向是由边缘移向中心，因此，与等厚层对应的干涉条纹也随之从边缘向中心移动。高光圈识别，正好与此相反。 色序法 按光圈颜色的序列来识别光圈高低的方法，称色序法。 在白光照射下观测时，光圈形成色序，这是由于组成白光的各种色光，所对应的空气隙（）不同所致。 低光圈：从中心到边缘的颜色序列为“蓝、红、黄”等。 高光圈：从中心到边缘的颜色序列为“黄、红、蓝”等。 色序法不仅适用N1时光圈高低的识别，而且也可用于N1时光圈的度量。 目视移动法 在样板不动的情况下，观察者移动眼睛位置时，也可以判断光圈的高低。如，点头时，光圈由内向外扩散，则为高光圈；反之，光圈由外向内收缩，此时则为低光圈。这是因为点头时，空气层厚度h未变，而i角变大，由光程差 可知， ； ；则△变小。所以高光圈时，光圈向外扩散。（工厂常用，不伤表面） 局部偏差的判断(像散偏差) 像散偏差 像散偏差的判断 像散偏差的判断 像散偏差的判断 像散偏差的判断 局部偏差的判断 当一侧加压时： 中心低 条纹中心部位的弯曲凹向背着加压点A 中心高 条纹巾心部位的弯曲凹向朝着加压点A 图 一侧加压法判断中心低 图 一侧加压法判断中心高