TiN附着膜的应力-应变关系.pdfVIP

第39卷 第7期 金属学改 V01．39No．7 2003年7月721—々24页 ACTAMETALLURGICASINICA 2003 July PP．721-724 TiN附着膜的应力一应变关系 覃明-)嵇宁。) 汪伟-) 陈昌荣·) 李家宝t) 马胜利。) ‘ 1)中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室，沈阳110016 ESACNRS Nationale D’Artset Bd．de 2)LM3 8006，Ecole SupieureMdtiers，151lIH6pital， 75013．Paris，FraⅡc8 3)西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安710049 摘要 技术和微拉伸设备．测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向直力及外载应变．进而求其等效应力一等效单轴应变关系，并由此 4 算得它的条件屈服点O01和O0．2分别为4．2和4GPa．加工硬化指数为0．36．用纳米压痕仪测得其硬度为25GPa，弹性 模盈为420GPa．TiN膜在拉伸垃程中发生了塑性变形． 关键词TiN膜，双轴应力，应力一应变关系，X射线拉冲蛮验，纳米压痕怯 文献标识码A 中圈法分类号TGll3．25，TGll5．222，0484．2 STRESS-STRAINRELATIoNSHIP0FATiNFILM SUBSTRATE ADHERENTTo Mtn一，JI we釉．cHENChangron一，LI3iabao∞．MAShengl产) QIN Ning(JIVincent尹．wANG Natlonal forMaterials ofMetal Chinese of l】ShenyangLaboratory Science，InstituteResearch，TheAcademySciences， 110016 She／ayang ． ESACNRS Nationale D’Aitset Bdde 2】LM3 8006，Ecole Sup4rieure M舐iers，151 rH6pit“，75013，Paris，France Behaviorof 710049 3、StateLaboratoryforMechanical Materials。Xi’an Kcy JiaotongUniversity,Xi’an Correspondent：QINMing,Ri：foe4)2397182s．E-mail：mqin@tmr．tlC．en Science and Narural 170undation Supportedby讹tional olChina(Nos．5993101050072067) form received2002-09-12．infewised2002-12—24 Manuscript