一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计.pdfVIP

下载本文档

7
0
约1.09万字
约 7页
2015-09-02 发布于湖北
举报
版权申诉

一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计.pdf

1、本文档共7页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计.pdf

第4卷第4期纳米技术与精密工程 V01．4No．4 2006年12月 and Dee．2006 NanotedmologyPI俄i醯哪DlgI玳棚鹪一种高制动效率大角度硅扭转微镜 MEMS光开关的设计杨梅1，韩翔1，林川力2，陈兢1 (1．北京大学微电子研究所，北京100871；2．北京大学物理学院，北京100871) 摘要：提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转，从而实现二维开关功能的MEMS光开关．使用ANSYS 和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析，并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化．通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90。的大角度扭转，使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率，将制动电压降至18V．引入背面梳齿提高开关响应速度，模拟结果表明，光开关具有毫秒量级响应时间．与其他设计相比，该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点．关键词：MEMS光开关；扭转梁；微镜；制动电压；开关时间中图分类号：TH74 文献标识码：A 文章编号：1672-6030(2006)04-0326-05 ofanElectrostaticSiliconTorsionMicromirrorforLowDrive Design MEMS Switch and纾豇幻Angle Voltage Optical Applications YANG Meil，HAN Chuan～li，CHEN Xian91，LIN Jin91 of (1．InstituteMicroelectronics，PekingUniversity，Beijing100871，China； of 2．CollegePhysics，PekingUniversity，Beijing100871，China) for inthis torsion Abstract：A2Delectrostaticmicromirror switchmatrixwas optical presentedpaper．The beamismadeof siliconto its kindsof were andcorn- sindecrystal impmveperformance．Twodesignspmposed witheach andtransient ofdevicestructuresarecarriedoutwithANSYSand pared other，modal，staticanalyses COVENTORsoft the ofthe ofthedeviceandthestructureoftorsionbeam ware，andpositioncomb，dimensions were as90。Canberealize