压强对磁控溅射沉积铌膜耐磨和耐蚀性的影响.pdfVIP

第37卷 第l期 稀有金属材料与工程 、，01．37．NO．1 2008年 1月 RAREMETAL～螂ERlALSANDENGINEERING Janllarv2008 压强对磁控溅射沉积铌膜耐磨和耐蚀性的影响 崔江涛1，田修波1，一，胡新东1，杨士勤1，2 (1．哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室，黑龙江哈尔滨150001) (2．深圳国际技术创新研究院，深圳518057) 摘要：采用直流磁控溅射在钢基体上制备了铌薄膜，分别采用扫描电镜、原子力显微镜、x射线衍射仪、球盘式摩 擦磨损实验机和电化学分析仪研究了不同溅射气压下铌膜表面形貌、相结构、耐磨性以及耐蚀性。结果表明：低压强 下，晶粒细小，膜层平滑，晶粒择优取向为(110)晶面；压强升高使得晶粒粗大，粗糙度明显提高，择优取向转变为(211) 晶面。较高的和较低的溅射压强对耐磨性和耐蚀性的提高较大，适中的压强对铌膜的性能提高反而较小。这可能是由于 表面缺陷和组织结构的不同造成的。 关键词：溅射气压；铌膜；耐磨性；耐蚀性 146 中图法分类号：TG 文献标识码：A 文章编号：l002．185x(2008)01．0143．04 铌属于难熔金属，熔点高达2415℃，具有很好的 所用设备为实验室自制的复合等离子体表面处理 高温性能，在大多数腐蚀性环境下，铌都能形成稳定 装置，溅射气体为高纯氩气(纯度为99．99％)，靶材 的氧化物Nb205，其耐蚀性非常出色，因此可以被广为金属铌靶(纯度为99．95％)。衬底使用经过淬火和 泛应用于许多行业，比如化学工业、航空航天等领 为：Mn 域【l2】。然而，在利用铌对金属材料表面处理时，由于 0．50～0．80，Cr0．60～0．90，Ni2．75～3．15，Mo 没有合适的电镀液，无法采用方便经济的电镀方法来 O．20～0．30，Si0．17～O．37。沉积前衬底在丙酮中超声波 制取，这限制了铌的应用。 清洗15min，然后用去离子水冲洗去除丙酮，最后在 合适的物理气相沉积方法可以在材料表面制备铌 去离子水中超声波清洗3min，取出烘干备用。真空室 Pa，对衬底进 膜保护层。HongJ【3】采用离子束辅助沉积法来制备铌 的本底真空度为7．0×10。Pa，通入Ar至2 膜，通过控制轰击粒子的能量，获得了不同晶向的铌 行溅射清洗，时间20min。沉积过程中，靶与基体的 E Pa，0．6Pa和0．9Pa， 膜；SalageanE[4】用非平衡磁控溅射的方法考察了偏 间距为lOcm，溅射气压分别为0．3 压对铌膜形貌和耐蚀性的影响；GunzelaR[5】采用等离 溅射电流为0．4A，偏压电源采用脉冲模式，设定电压 150 子体浸没注入方法在钛基体上注入了铌，提高了钛的 V，脉宽10us，频率10kHz，每个样品的溅射沉积 min。 耐腐蚀性。国内中国工程物理研究院的罗文华[6，7]用等 时间为60 离子体浸没注入技术在钢和铀的基体上注入铌，发现 1．2表面分析测试 在不同环境介质下的耐蚀能力都有所提高；余任泓[8】 研究了Nb离子注入对zr_4合金电化学腐蚀性能的影了显微硬度测试，使用25g载荷，加载时间为20s。对 响，发现Z卜4合金的耐蚀性明显得到改善。 每个试样进行6次重复测试，取平均值。通过美国