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双层预制膜对CIGS薄膜结构和形貌的影响.pdf
真空科学与技术学报 第28卷第1期
CHINESE OF 2008年1、2月
JOI瓜NALVACUUMSCIENCEAND’IEC}玎岫“)GY
双层预制膜对CIGS薄膜结构和形貌的影响
韩东麟张 弓’ 庄大明 元金石 李春雷
(清华大学机械工程系北京100084)
Influenceof PrecursorFilmsonStructureand ofCIGSFilms
Bilayer Morphology
Han Chunlei
Jinshi，Li
Donglin，ZhangGong。，ZhuangDaming，Yuan
100084，China)
(及卵删ofMechaa／ca／Eng／need曙，Ts／nghua懒毋，Be／j／ng
Abstract wem onMo-coatedsoda-lime middlefre—
CuInGa(CIG)bilayerprecursorsdeposited da鹃substratesby
of CIG selenizedinSe to
CuInand
queneya．c．magnetron CuGa，alternatively．Then，thepfecu黜were vapor
sputtering
with mi-
form CIGSfilmswerecharacterized electron
diffraetion(XRD)，scanning
Cu(Inl_,C屯)se2(CIGs)．％e X·ray
resultsshowthat andselenizationtimelit—
eroscopy(SEM)andenergydispersivespectroscopy(EDS)．Theargonpressure
affectthe andCIGSstoichiometries．Fordifferent Ar films of
de CIG instance，at operatingpressures，CIGc叩1pdse
phase
of films
and all of1．0 differentselenizationtimeintervals，theCIGS
CuGa；at Pa，for
CullInl9，CuLl argonpressure phase
is with orientation．
a
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