各向同性富铁Fe-Pt纳米晶薄膜的形成及其磁性.pdfVIP

第 卷 第 期 稀有金属材料与工程 P@Y Z #， # # T@ Z # 年 月 $%%$ : W4WX 3X24G 342XWN4G; 4TS XT9NTXXWNT9 BH/( $%%$ 各向同性富铁!!#$ 纳米晶薄膜的形成及其磁性 ， # $ $ # # # # # 王亦忠 ，张茂才 ，乔 祎 ，韩宝善 ，张臻蓉 ，梁冰青 ，王荫君 ，沈保根 （ 中国科学院三环新材料研究开发公司，北京 ） %%%% （北京科技大学新金属材料国家重点实验室，北京 ） $ %%%# （中国科学院物理研究所磁学国家重点实验室，北京 ） # %%%% 摘 要：采用直流溅射多层膜结合退火技术，制备了不同富铁量的各向同性’(!)* 纳米晶永磁薄膜。对这些永磁薄 膜的研究表明：在 退火 得到的所有不同富 量的 永磁薄膜是各向同性的；它们的磁滞回 +%%, # -./ 0 % -./ ’( ’(!)* 线都显现单相的硬磁行为；所有的薄膜显示出剩磁增强效应，其剩磁随富 含量的增加而增大。磁力显微镜观测 ’( 表明，在热退磁状态下 薄膜显现出不规则的横跨数个晶粒的岛状畴，其大小是平均晶粒尺寸的 倍 倍。 ’(!)* 1 0 % 关键词：薄膜；纳米晶；矫顽力；交换耦合 中图法分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 23$1# 4 %%$ 5 +6 $%%$ %# 5 %$# 5 %7 ;=.?/@A 和BCD 等人通过开发双相纳米磁体中 室的本底真空是+ M % 5 + )，溅射时样品室保持一个 硬磁和软磁层之间的交换耦合，采用第一原理计算了 高纯的氩流量，其氩气压约为% I: ) 。在溅射过程 纳米结构’()*E ’( 多层薄膜的永磁性。他们的计算指 中，粘附基片的水冷板始终通水冷却。在制备 ’(E)* 出，纳米结构多层薄膜 的最大磁能积可达到 多层膜前，基片上先溅射一层 厚的 作 ’()*E ’( $ /- 0 % /- )* ［］ 1$% FBE-# 。这种理想的高性能磁体极大地激励人们 缓冲层，然后以每秒约% I /- 的速度间隔地溅射一层 对这种材料永磁薄膜的研究热情。最近， 等人已