新型TiSiCN纳米复合超硬薄膜高温热稳定性.pdfVIP

第42卷 第2期 金属学玫 Vbl．42NO．2 ACTAMETALLURGICASINICA Feb．2006 2006年2月172—176页 PP．172—176 新型Ti—si—c—N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性 郭岩 畅庚榕 吴贵智 马胜利 徐可为 (西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安710049) Ti—si— 摘 要 用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti—si—c—N超硬薄膜． TiC，晶粒尺寸减小到2—4nm．薄膜晶粒尺寸和硬度的高温热稳定性均随沉积态薄膜中的原始晶粒尺寸减小而提高，当原始晶 粒尺寸在8—10ilm之间时，晶粒尺寸和硬度热稳定性可达900℃；当原始晶粒尺寸在2—4nlTl之间时，晶粒尺寸和硬度热 稳定性可达1000℃．薄膜硬度和晶粒尺寸表现出同步的高温热稳定性．分析认为由调幅分解形成的纳米复合结构中的非晶相强烈 地抑制晶界滑移与晶粒长大，从而使Ti-Si-C—N薄膜的热稳定性显著提高． Ti—Si—C ． 关键词 N，纳米复合超硬薄膜，晶粒尺寸，显微硬度，热稳定性 中图法分类号TGl74．44 文献标识码A 文章编号0412—1961(2006)02一0172一05 THERMALSTABILITYoFANoVELTi—Si—C—N SUPERHARDNANoCoMPoSITECoATING ATELEVATEDTEMPERATURE GUOhn．CHANG Guizhi．MA Kewei Gengrong，WUShengli。xU State forMechanicalBehaviorof 710049 KeyLaboratory Materials，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an Correspondent：』泓Shengli，associate N口tionalNnturatScienceFoundation and Supportedby ofChina(N08．5027105350371067)．the International NQtionalNoturalScienceFoundation KeyJoint—projectof No．50420130033)。 StateBasicResearch China CB61 Major DevelopmentProgramof No，Program China forNeW ExcellentTalentsin Education Century University。Ministryof of DoctorateFoundationXi’an No．NCET-04—0934)and of JiaotongUniversity revisedform200508—29