基于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计.pdfVIP

第 19卷 第 6期 光学 精密工程 Vo1．19 No．6 2011年 6月 OpticsandPrecisionEngineering Jun．2O11 文章编号 1004—924X(2011)06—1179—06 基于光纤一镜面干涉腔 的光纤加速度计 林 巧 ，陈柳华，李 书，吴兴坤 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州310027) 摘要：设计、研制了一种基于光纤一镜面干涉腔的光纤加速度计。介绍了该加速度计的传感原理及弹性结构设计 ，并对其 性能进行 了实验测试。该加速度计用固定于圆网状弹性结构上 的硅微反射镜与处理过 的光纤端面构成光纤一镜面干涉 腔来产生相位差随外界加速度改变的光干涉信号；采用相位生成载波技术通过对干涉信号的调制和解调实现对相位差 的精确测定 。应用工程软件 Cosm