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基于准分子激光加工技术的内嵌光纤型微流控器件的制备.pdf
第35卷第11期 中 国 激 光 V01．35，No．11
2008年11月 CHINESE OFLASERS November，2008
JOURNAL
文章编号：0258—7025(2008)11—1821—04
基于准分子激光加工技术的内嵌光纤型
微流控器件的制备
金永龙 张 宇 顾 宁
(东南大学生物电子学国家重点实验室，江苏省生物材料-ff器件重点实验室，江苏南京210096)
摘要为了方便、快速、低成本地检测样品，提出一种内嵌光纤型微流控芯片的制备方法。利用248nm的KrF准分
子激光在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上进行微加工．构建芯片结构，并嵌入腐蚀过的直径35肛m的单模光纤，
从而形成内嵌光纤型芯片。探讨了准分子激光加工参数以及嵌入光纤的方法。结果表明，用准分子激光加工芯
片，可控性好、简便可靠、加工过程可实现无人化。内嵌光纤实现了光纤的相互对准以及光纤对流道中央的对准，
可以灵敏地获取样品的光学信号。
关键词 激光技术；准分子激光微加工；微流控芯片；光纤；聚甲基丙烯酸甲酯
中图分类号 TG665 文献标识码 A doi：10．3788／CJ1821
Fabricationof withEmbeddedFibers
Microchip Optical by
ExcimerLaser
ProcessingTechnique
Jin YuGu
YonglongZhang Ning
and
(State Bioelectronics，J BiomaterialsDevices，
KeyLaboratotyof iangsuKeyLaboratoryfor
Southeast 210096，China)
University，Nanjing，Jiangsu
AkstractInordertodetect with andlOWcost。we afabricationmethod
samplesconvenience，highspeed presented
of withembedded withembedded
microchip opticalfibers．Polymethylmethacrylate(PMMA)mierochipoptical
fibersof35“mdiameterwasfabricateda248nmKrFexcimerlaser
using processingtechnique．Theprocessing
resultsshowthatthe
ofexcimerlaserandthe methodof fiberswerestudied．The
parameters embedding optical
laser is automation．Withtheembeddedfiber
excimer
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