太阳能多晶硅的制备生产工艺综述.pdf

2010 年 第 2 期 化学工程与装备 2010 年 2 月 Chemical Engineering Equipment 117 太阳能多晶硅的制备生产工艺综述 何丽雯 （陕西延长石油（集团）管道运输公司，陕西延安 716000 ） 摘 要：太阳能用多晶硅来自石英矿或者硅石矿，进行冶炼得到金属硅，然后将金属硅提纯到太阳能 多晶硅。太阳能多晶硅是制备太阳能电池的重要原料。依照自然界中硅石到太阳能多晶硅的生产过程 为线索，介绍当前国内外光伏行业生产太阳能多晶硅的工艺现状，并对各工艺详情作一个综述。 关键词：太阳能；金属硅；多晶硅；产工艺 引言 晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷 目前，全球能源行业正面临着一次能源的枯竭 法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的多晶硅 与环境保护的双重压力。积极发展可再生能源已成 的产能约占世界总产能的 80 ％，短期内产业化技术 为世界共识，尤其是目前处于金融危机的经济背景 垄断封锁的局面不会改变。 下，以“低碳”为特征的“绿色新政”思想已经成 （2 ）新一代低成本多晶硅工艺技术研究空前 为促进经济复苏的共识，对太阳能产业的重视和太 活跃。除了传统工艺（电子级和太阳能级兼容）及 阳能的开发利用已成为必然趋势。必然导致作为将 技术升级外，还涌现出了几种专门生产太阳能级多 太阳能转换为电能的基本材料⎯⎯ 太阳能级硅的 晶硅的新工艺技术，主要有：改良西门子法的低价 需求量急剧增加，同时也导致了太阳能级硅的生产 格工艺；冶金法从金属硅中提取高纯度硅；高纯度 工艺的变革，即由以传统的化学法（西门子改进西 SiO2 直接制取；熔融析出法（VLD ：Vaper to liquid 门子法）逐渐到物理冶金法，生产技术朝着绿色环 deposition ）；还原或热分解工艺；无氯工艺技术， 保（无氯）、低能耗的方向发展[1-7] 。作者从金属硅 Al-Si 溶体低温制备太阳能级硅；熔盐电解法等。 的冶炼入手综述太阳能级硅生产工艺和精炼常用 一般来说，多晶硅的生产主要分为传统工艺和 方法，以便为我国多晶硅产业提供一些参考。 新工艺。 1 太阳能多晶硅的生产工艺 1.1 太阳能多晶硅的传统生产工艺 金属硅，是采用石英矿与碳在高温下进行还原 可用于制备多晶硅的技术途径很多，经过大量 得到的。石英矿，也称为硅石矿，主要成分是二氧 的研究和生产应用淘汰了Ca、Mg 、Al 还原 SiC 从 化硅。碳是作为还原剂将硅从二氧化硅中还原出来 法和 Zn 、Al 、Mg 还原 SiHC13 法，研究集中到硅 的，通常可选用焦碳、木炭、精煤和石油焦等。将 烷分解法和氯硅烷气相氢还原法(西门子法) ，其中 石英矿石破碎到合适的大小，与碳还原剂按大约 3： SiHCI3 法(西门子法) 是目前多晶硅制备的主流技 1 的比例均匀混合放入矿热炉内，通电产生电弧， 术。其生产历史己有 35 年。 将硅石熔化，使之在高温下与碳进行还原反应： 1.1.1 西门子法[9] SiO2 + 2C → Si + CO 西门子法生产出的多晶硅纯度完全满足直拉 和区熔的要求，所以成为首选的生产技术。其提