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基于ESPI技术的物体缺陷自动识别技术.pdf
第 卷 增刊 光学 精密工程
13
Vol.13 Su .
pp
O tics and Precision En ineerin
年 月 p g g
2005 11 Nov.2005
文章编号 增
1004-924X 2005 -0173-06
基于ESPI技术的物体缺陷自动识别技术
柴 东!王亮亮!于瀛洁
上海大学 精密机械工程系!上海 200072#
摘要!电子散斑干涉技术是变形和缺陷检测的重要技术方法 具有非接触 动态特性好 灵敏度高等优点 在缺陷检测
中 以变形为载体 通过变形分布上的异常判别缺陷是否存在和大致位置 在这个过程中 如何摆脱人的主观判断 实现
缺陷的自动识别 一直是一个技术难点 本文以实现缺陷自动识别为目标 探讨了电子散斑干涉技术的物体缺陷识别技
术 总结了ESPI 实现系统和变形测量的主要算法 包括时域相移干涉仪中算法 空域载波相移干涉仪中算法及空域相
移干涉仪中算法 分析了各自的特点并进行了归类 描述了变形与缺陷之间的关系 讨论和总结了缺陷的时域识别方
法和空域识别方法 分析了基于变形梯度的缺陷识别方法 并进行了改进 改进的方法引入了调节因子 提高了缺陷区
与非缺陷区之间的界限 从而提高了该方法的缺陷识别能力
关 键 词! !缺陷自动识别!变形!梯度
ESPI
中图分类号! 文献标识码!
TP391.41 A
Automatic defect detection based on ESPI
C~AI Don WANG Lian -lian YU Yin -ie
g g g g
De artment o Precision Mechanion En ineerin Shan haiuniuersit Shan hai 200072 China
P f g g g $ g
Abstract Electronic s eckle attern interferometr ESPI is an im ortant t
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