GaAs薄膜电沉积机理的初探.pdfVIP

第 卷第 期 半 导 体 学 报 , 年 月 , 薄膜 电沉积机理 的初探 韩 林逸 赵永春 元恺 爱珍 青 高 哈尔滨工业大学 信箱 哈尔滨 摘要 本文叙述 了 电沉积制备 薄膜 的原理 我们在 不 同的基 片上均成功地得 到 了成分 接近化学计量 比 的 薄膜 初步探讨 了 薄膜 的电沉积机理 , 引言 由于 材料与 材料相 比 , 具有高 的 电子迁 移率 为 的 倍 , 所 以适 合做微波 器件和超 高速 器件 另方 面 , 材料是直接 带 隙材料 , 使得 光在靠近材料表面 吸收 , 具有 , , , , ‘ 最 佳带 隙值 因此 是一种很 好 的太 阳 电池 材料巨 〕 目前多数利用 , , , , 等方法 制 备 薄膜 但这些 方法 存在 着 设 备 复杂 耗 能大 工 艺周 期长 污 染环 境等缺 艺 以 些 我 在 仁 习 础 上 , 一步在 聚 基 点 电沉积工 可 克服这 缺 点 们 先前工作 基 进