MEMS 型水听器的自噪声分析.pdfVIP

第 35卷第3期 哈 尔 滨 工 程 大 学 学 报 Vo1．35№ ．3 Mar．2014 2014年 3月 ， JournalofHarbinEngineeringUniversity MEMS型水听器的 自噪声分析 方尔正 ，洪连进 ，杨德森 (哈尔滨工程大学 水声技术重点实验室，黑龙江哈尔滨 150001) 摘 要：针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象，以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械一热噪 声理论 ，给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算 机仿真，得出了影响传感器自噪声的主要因素，给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械 Q值之间的关系。将典型 水听器自噪声与海洋环境噪声进行了对 比，仿真分析结果表明，工业用加速度传感器不能用于水下声辐射噪声测量任 务，用于在辐射噪声测量的MEMS型水听器需要具有40ng以下的自噪声才能达到系统要求。 关键词：水听器；微机械系统；自噪声；噪声测量 doi：10．3969／j．issn．1006—7043．201304018 网络出版地址：http：／／www．cnki．net／kcms／doi／10．3969／j．issn．1006—7403．201304018．html 中图分类号：TB566 文献标志码：A 文章编号：1006—7043(2014)03—0285—40 Self-noiseanalysisoftheMEMShydrophone FANGErzheng，HONGLianjin，YANGDesen (AcousticScienceandTechnologyLaboratory，HarbinEngineeringUniversity，Harbin150001，China) Abstract：Inresponsetosomestructuralformsofhydrophonecontaininghighserf-noise，thestructureanalysiswas derivedbasedonthemicroelectromechanicalsystems(MEMS)sensor．Inreferencetothemechanica1．thermal noisetheory．thecalculationmethodofrhydrophonethemr alnoiseandtheconversionrelationshipbetweensound pressureandaccelerationinaqueousmediaweregiven．Thehydrophonenoiseparametersusedofrmeasuringradia- tednoiseweresimulated，andthemainfactorsinfluencingtheself-noiseofthesensorwereobtained．Therelation． shipsbetweenself-noiseandresonancefrequency．andmassandQweregiven．Thetypicalhydrophoneself-noise andtheenvironmentalnoiseoftheoceanwerecompared．Thesimulationresultsshowthattheindustrialacceleration sensorcannotbeused inunderwateracousticradiationnoisemeasurementtasks．Th eself-noiseofMEMSsensors usedinradiationnoisemeasurementshouldbeunder40nginordertomeetthesystem requirements． Keywords：hydrophone；micro-electromechanicals