PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究.pdfVIP

第 4 期 微细加工技术 №4 2005 年 12 月 MICROFABRICATION TECHNOLOGY Dec , 2005 ( ) 文章编号 2005 PZT 厚膜拾振器微图形化工艺研究 1 1 2 2 1 1 2 方华斌 ,刘景全 ,徐峥谊 ,王 　莉 ,陈　迪 ,蔡炳初 ,刘 　悦 ( 1 上海交通大学 微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室 微米/ 纳米加工技术 国家级重点实验室 ,上海 200030 ;2 美国 Honeywell 公司上海传感器实验室 ,上海 200030) 摘要 :采用 solgel 方法制备了 PZT 铁电厚膜 ,构成了 SiO / Si/ SiO / Ti/ Pt/ PZT/ Ti/ Pt 形 2 2 式的拾振器敏感元结构 。基于半导体光刻技术 ,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀 PZT 厚膜等技术 ,成功地实现了敏感元的微图形化 ,解决了 Pt/ Ti 下电极刻蚀难 、制作 的 PZT 膜形貌不好和上电极容易起壳等问题 ,为基于 PZT 厚膜的高性能拾振器的研 制打下了良好的基础 。 关 　键 　词 :拾振器 ;PZT 厚膜 ;Pt/ Ti 电极 ;湿法化学刻蚀 ;干法刻蚀 中图分类号 :TN305 　　　文献标识码 :A 1 　引言 机组 、桥梁 、建筑物等安全监控以及医学的脉 象诊断、血压监控等方面有着广泛的应用[57 ] 。 PZT 陶瓷 、薄膜 以及厚膜材料 以其优异 采用 MEMS 技术 ,设计了一种基于压电转换 的热释电、压电和铁电、电光特性 ,在制备热 原理 PZT 厚膜的高性能拾振器微系统 , 以用 释电探测器 、微型驱动器 、换能器 、铁 电存储 于低频段振动测量 ,如道路 、桥梁 、大型机组 、 器 、光波导器等方面有着广泛的应用 。其中 大型建筑物等的安全监控传感器网络 。 PZT 厚膜兼顾了体材料和薄膜材料的优点 , 在器件制备过程中 , PZT 膜及上下电极 比薄膜的压电效应更明显 ,驱动力更大 , 比体 等敏感元部分的图形化是非常重要的一环 。 材料更容易与硅平面进行 MEMS 工艺结合 。 目前 PZT 膜及上下电极微图形化技术主要包 在 20 世纪 90 年代中期 , PZT 厚膜材料及器 括化学腐蚀法 、等离子刻蚀法 、反应离子刻蚀 件就成为了研究的热点 , 已研制出许多硅基 法 、liftoff 工艺等 。本研究中采用化学腐蚀 PZT 微型器件 。国外利用 PZT 铁电厚膜优异 法对 PZT 膜进行刻蚀 、离子轰击物理干法刻 的压 电性能 , 采用 MEMS 技术研制 出硅基 蚀对电极进行刻蚀 ,成功地实现了敏感元的 PZT 铁电厚膜声纳换能器等构件[ 14 ] 。 微图形化 , 解决了传统工艺中存在 的 Pt/ Ti 拾振器作为一种测量振动的设备 ,其基 下电极刻蚀难 、制作的 PZT 膜形貌不好和上 本原理是将机械振动转化为电量 ,它包括电 电极容易起壳等问题 ,为基于 PZT 厚膜的高性 容式 、感应式和压电式等方式 ,在地震监测 、 能拾振器微系统的研制打下良好的基