STM探针电化学腐蚀装置的设计及实验研究.pdfVIP

· 14 · 文章编号 ：1002—6886(2008)05—0014—03 STM 探针 电化学腐蚀装置的设计及实验研究* 潘金福 ?，黄旭 ，王云 ，丁召 (通讯作者) (1．贵州大学电子科学与信息技术学院．贵州贵 阳550025； 2．贵州省微纳电子与软件技术重点实验室，贵州 贵阳550025) 摘要：本文根据扫描隧道显微镜 (STM)探针电化 学腐蚀方法的特点 ，在 总结其它 STM 探针 电化学腐蚀 装置的基础上 ，自 制 了STM 探针电化 学腐蚀装置。并用此装置进行探针制备的实验研究，摸 索 出了此装置制备 高质量钨探针的较佳 工艺 条件 ，同时给出了所制探针 的STM 成像 结果。 关键词 ：扫描 隧道 显微镜 (STM) 探针制备 电化 学腐蚀装置 中图分类号 ：TH742 文献标识码 ：B Design andExperimentalResearchesofElectrochem icalDeviceforSTM Tips PAN Jinfu，HUANG Xu，WANG Yun，DING Zhao Abstract：Basedon operation {eaturesofpreparation ofScanning tunnelmicroscopy(STM )tipsusing electrochemicaltech— niqueandotherelectrochemicaletchingdevicesforSTM tips，anew electrochemicaletchingdeviceforSTM tipsisdesigned．h is usedforexperimentalresearchesforpreparationofSTM tips，arelativelygoodtechnicalconditionforpreparationofhighquality tungstentipsisobtainedinexperiments，andtheSEM imagingofthetipbysuchdeviceisshowninthispaper． Keywords：scanningtunnelm icroscopy；tippreparation ；electrochem icaletchingdevice 0 引言 l STM 探针 的电化学腐蚀原理 自从 1982年扫描隧道 显微镜 (Scanningtunnelmi 探针制备有多种方法 ，如化学的或 电化学的腐蚀 、研 croscopy)被发 明以来 ，STM 在表面科学领域里被广泛 磨、抛光 ，机械剪切 ，光学蚀刻方式 以及受控爆裂、阴极溅 地应用 ，现 已经成为这个领域里最重要 的 具之一 。STM 射、离子铣削、火焰磨削、蚀刻沉积方式等 。通过超高真 的分辨能力能达到横向0．1nm，纵向0．01nm，能直接观 空离子场显微镜可制备末端只有一个原子的探针，但其制 察到物质表面的原子结构。STM 的工作原理是基于量子 备过程昂贵而复杂；用剪切法制备的探针 ，其末端粗糙，获 理论中的隧道效应 ，当具有原子尺度的探针针尖接近试样 得高质量探针的重复率极低，还可能存在许 多微型探针， 表面(非接触)，以致针尖 电子波函数与试样表面原子 的电 导致 STM 反映的图像其实是这些微型探针所反 映的图 子波函数产生交叠时，在针尖和试样间施加一个合适的电 像的叠加 ，造成测试结果的失真 ；从现有的针尖制备方法 压 ，由于隧道效应将得到针尖和试样 间的隧道 电流 。如保 来看 ，电化学腐蚀法 因其成本低廉 ，操作简易而成为一种 持隧道 电流恒定，使针尖在试样表面进行扫描 ，针尖将随 非常实用的探针制备方法 。早期的电化学腐蚀方法及原 表面的起伏上下移动，其运动数据会被 同步地采集到，经 理 如下 ： 过计算机处理即可得到试样表面 的形貌 图像一 。