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基于二维零位光栅的高精度平面定位系统.pdf
第4卷第3期 纳米技术与精密工程 V01．4No．3
2006年9月 andPrecision
NanotechnologyEngineering Sep．2006
基于二维零位光栅的高精度平面定位系统
周成刚，叶锡标，张 阳，黄文浩
(中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，合肥230027)
摘要：随着微电子工业和纳米加工技术的快速发展，对超高精度的定位基准的要求也越来越高．提出一种基于
特殊编码的非周期性二维零位光栅的平面定位传感器，采用在二维方向上的非周期性编码产生一个表征绝对零位
的最大输出峰．当两块二维零位光栅的相互位置完全对准时，透过的光强达到峰值，峰值的半宽仅为一个光栅栅格
尺寸；当两块二维零位光栅的相互位置稍有移动时，透过光强急剧衰减．用光电接受器件接受透射光强信号，经过
电路处理，反馈给定位驱动装置，可以在平面内同时实现髫和Y方向高精度的定位要求．采用栅格常数为5p,m的
光栅做实验，可以达到优于20nm的定位精度．实验表明，该平面定位系统可以满足高精度平面定位的要求，有着
广泛的应用空间．
关键词：二维零位光栅；平面定位；精密计量；位置编码器
中图分类号：TH741．6文献标识码：A 文章编号：1672—6030(2006)03—0190—05
ATwo--DimensionalZero·—Reference
Grating-·BasedHigh·-Precision
Planar System
Positioning
ZHOU Xi·biao，ZHANG Wen—hao
Cheng—gang，YE Yang，HUANG
andPreciseInstrument of
(PreciseMachinery Department，Univercity
Scienceand of
TechnologyChina，Hefei230026，China)
the ofmicrofabricationandnano demandfor
Abstract：With
development technology，theultrahighprecise
sensor
is moreandmore this basedon
becoming important．Inarticle，aplanarpositioning specially
positioning
zero are fromthenon—
codedtwo—dimensionalzero—referenceis reference obtained
gratingproposed，the signals
two arei
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