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基于光栅的快速精确图像拼接.pdf
第14卷第2期 光学精密工程 V01．14No．2
andPrecision
2006年4月 Optics Engineering ADr．2006
文章编号 1004—924X(2006)02—0242-05
基于光栅的快速精确图像拼接
陈世哲，胡涛，刘国栋，谢凯，刘炳国，浦昭邦
(哈尔滨工业大学自动化测试与控制系，黑龙江哈尔滨150001)
摘要：为了提高IC芯片视觉检测中图像拼接的速度和精度，提出一种基于精密光栅运动系统的快速精确图像拼接技术。
提出自标定技术解决了传统标定受标准件加工尺寸精度和光强影响的问题，提高了标定的准确度并降低了成本。在准
a
确标定基础上，建立了基于光栅精确定位的拼接模型。实验表明，该方法拼接精度高，拼接平均误差在0．4Mm以内，2
为0．872 13ns。
pm，达到亚像素级精度，而且拼接速度快，两幅图像拼接时间约为lO
关键词：图像拼接；光栅；自标定
中图分类号：TP391文献标识码：A
Fastand mosaicbasedon
precisionimage grating
CHENShi—zhe，HUTao，LIU Kai，LIU
Guo—dong，XIEBing—guo，PU
Zhao—bang
AutomaticMeasurementandControl，
(Departmentof
HarbinInstitute 150001，China)
ofTechnology，Harbin
to ICvision
Abstract：Inorder the and of mosaicfor fast
improvespeedprecisionimage inspection，a
andaccuratemosaic basedon measurement
was
image technique precisiongrating systempresented．
Theself—calibrationmethodcansolvethe ofconventionalaffected
calibration themanufac—
problem by
ofstandardunitand canincreasethecalibration de—
and
turingprecision lightintensity，and
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