一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析.pdfVIP

MEMS器件与技术 MEMSDeviceTechnOl0gy 一 种新型MEMS离面驱动器的设计与分析 任 豪 ，姚 军 ，胡放荣 ， 邱传凯 (1．中国科学院光电技术研究所 微细加工与光学技术国家重点实验室，成都 6102O9； 2．中国科学院 研究生院，北京 100039) 摘要：提 出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器，在消除静 电拉入效应的同时得到 了 较大的静 电排斥力。驱动器主要由三个下极板 、一个上极板和弹簧梁组成。首先进行 了静电排斥 现象原理的分析 ，然后对弹簧梁中有和没有横梁时的弹性 系数和模态进行 了详细分析和对比，最 后对驱动器的行程、驱动力、频率响应和带宽等性能进行了分析。结果表明，存在横梁时结构更 加稳定 ，施加 200V 电压时，结构有2．5 m 的位移和 28 N的驱动力，而且带宽约为7kHz。 该驱动器可运用于光通信和空间光调制等领域。 关键词 ：微机 电系统；静 电排斥驱动器；蛇形弹簧梁；模态；行程；带宽 中图分类号 ：TP211．6；TH703 文献标识码 ：A 文章编号：16711I4776 (2009)09—0546—05 Design andAnalysisOfaN0VelM EM Sout。0f-PlaneActuat0r RenHao ，YaoJun ，HuFangrong ，QiuChuankai (1．SdPKP Ln60rn￡0r 0厂0户￡c口Z了c^oZ0g s _0rM cro．厂口6rcn￡D ，Jnsf￡“z0，0 ￡f5口dEZPf￡，．0 cs， CAS，C g “6102O9，C 口；2．Gr口d“n￡U 口rs￡0，C^ 5Ac4dP， D，Sf c，B J g10O039，C^ 口) Abstract：A MEMS actuatorbasedonarepuisiveelectrostaticforcewasproposed，which can achievethelargeout—of—plane forceand e1iminatetheelectrostaticpu11一in effect．Theactuator consistsofthreebottom e1ectrodes，oneupperelectrodeandtwoserpentinesprings．Theprinci— palofthe electr0staticrepulsiveforcewasanalyzed．The elasticcoefficientofthe serpentine springandthemodesoftheactuatorwithandwithoutthebeam werediscussedandcomparedin detail．Thentheperformancesoftheactuator，inc1udingthestroke，actuatingforce，resonant frequencyandbandwidth，wereanalyzed．Theresultshowsthatthestructurewiththebeam is morestab1e，adisplacementof2．5 m ，aforceof28 N andabandwidth ofabout7kHzare achievedat200V． Theactuat0rcan beusedin thefie1dsofopticalcommunication and spatial lightmodulators． Key、】． s：MEMS；electr0staticrepulsiveactuat0rs；serpentinespring；modes；stroke；bandwidth DoI：10．3969／i．issn．1671—4776．2009．09．O07 EEACC：2575 光调制等场合具有广泛的应用 。微机械离面驱 0