能量色散X射线荧光光谱仪现状及其发展趋势.pdfVIP

第31卷 第 12期 核电子学与探测技术 Vo1．31 No．12 2011年 12月 NuclearElectronics DetectionTechnology Dec． 20l1 能量色散 X射线荧光光谱仪现状及其发展趋势 杨明太 ，唐 慧 (1．中国工程物理研究院，四川绵阳市 621900；2．西安核仪器厂，西安710061) 摘要 ：能量色散x射线荧光光谱仪被广泛用于许多部门和领域 ，已成为理化检测、野外现场分析和 过程控制分析等的重要工具。文中介绍了现代能量色散x射线荧光光谱仪主要性能指标，综述了能量 色散X射线荧光光谱仪的硬件和软件研制现状，简述了多种新型的能量色散型x射线荧光光谱仪，并 对其发展趋势与前景进行了展望。 关键词：能量色散X射线荧光光谱仪；谱仪主要性能；分析技术；综述 中图分类号： O657．34 文献标识码： A 文章编号：0258-0934(2011)12—1307-05 1895年，德国物理学家伦琴 (RoentgenW 品主要性能指标基本接近国际先进水平。 C)发现了x射线 ¨-z]。1896年，法国物理学家 EDXRF分析技术发展至今，已成为一门较 乔治 (GeorgsS)发现了X射线荧光 。1948年， 为成熟的分析技术，被广泛用于冶金、地质、矿 弗利德曼 (FriedmanH．)和伯克斯 (BirksLS) 物、石油、化工、生物、医疗、刑侦、考古等诸多部 首先研制了第一台商品性的波长色散 x射线 门和领域。EDXRF光谱仪已成为对物质的化 荧光(WDXRF)光谱仪 J。1965年，探测 x射 学元素、物相、晶体结构进行试测、对人体进行 线的Si(Li)探测器问世了，随即被装配于 x射 医检和微 电路的光刻检验等的重要分析工具， 线荧光光谱仪上，成为能量色散 x射线荧光 是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的 (EDXRF)光谱仪的核心部件。1969年，美国海 一 种快速、准确而又经济的多元素分析仪器； 军实验室 Birks研制出第一台真正意义上的 EDXRF光谱仪 已成为理化实验室的重要工具， EDXRF光谱仪 J。二十世 纪七十年代初， 是野外现场分析和过程控制分析等方面首选仪 EDXRF光谱仪正式跨人仪器分析行业。与此 器之一。 同时，还相继出版了多部有关 EDXRF光谱分 1 EDXRF光谱仪简介 析的论著。 近半个世纪以来，随着半导体技术和计算 通常，EDXRF光谱仪是指通过测量被测元 机技术的迅猛发展，特别是半导体探测器出现 素发射的特征x射线能量与相应强度，达到定 和性能不断地提高，EDXRF光谱仪的生产和 性或定量分析之 目的的x射线荧光光谱仪。 应用也得到 了快速发展，其市场 占有量 已与 图1显示 了以x射线管为光源、用 Si(Li)半导 WDXRF光谱仪平分秋色。目前，我国有多家 体为探测器组成的EDXRF光谱仪的基本结构 研制、生产、组装 EDXRF光谱仪的厂商，其产 示意图。一台EDXRF光谱仪主要由光源、样 品室、探测器、脉冲放大器、多道脉冲幅度分析 器和数据处理系统等部件组成。 收稿 日期：2011—06—25 作者简介：杨 明太 (1953一)，男，四川乐山人，研究 员，主要从事核物理测量及其核技术应用研究。