超硬材料薄膜涂层研究进展及应用.pdfVIP

维普资讯 oo* *o ．o *** o ．o oog ～ 综 述 ～ 超硬材料薄膜涂层研究进展及应用 吕反修 (北京科技大学，北京100083) 摘 要：CVD和PVDTiN，TiC，TiCN，TiA1N等硬质薄膜涂层材料 已经在工具、模具、装饰等行业得到 日益广 泛的应用，但仍然不能满足许多难加工材料，如高硅铝合金，各种有色金属及其合金，工程塑料，非金 属材料，陶瓷，复合材料 (特别是金属基和陶瓷基复合材料)等加工要求。正是这种客观需求导致了 诸如金刚石膜、立方氮化硼(c—BN)和碳氮膜(CNx)以及纳米复合膜等新型超硬薄膜材料的研究进 展。本文对这些超硬材料薄膜的研究现状及工业化应用前景进行了简要的介绍和评述。 关键词：超硬材料薄膜；研究进展；工业化应用 中图分类号：TB43 文献标识码：A 文章编号：1008-1690(2004)04-0001-006