溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的晶粒定向生长和光学性质.pdfVIP

第37卷第3期 化工新型材料 V01．37No．3 NEW 2009年3月 CHEMICALMATERIALS ·83· 溶胶一凝胶法制备ZnO薄膜的晶粒定 向生长与光学性质 周世彦1 庄志强1 余红华1’2 (1．华南理工大学材料与工程学院，广州510640；2．华南师范大学分析测试中心，广州510631) 摘要采用溶胶一凝胶法在普通化玻片上制备出高C轴择优取向的ZnO薄膜，深入研究了溶胶浓度、甩膜层数、退 火温度对薄膜相结构、晶粒定向生长和紫外光吸收与可见光透射特性的影响。实验发现，在300600℃退火范围之内， 随着退火温度的升高，薄膜晶粒生长取向性增强，晶粒尺寸增大；用Zn含量为0．5mol／L的溶胶使用旋涂法甩膜扣经过 的平均透射率为90％。 关键词溶胶一凝胶，ZnO，薄膜，光挚陛质，uV—Vis，带隙