纳米多层膜与复合超硬涂层的研究进展.pdfVIP

维普资讯 2004年5月 吉林师范大学学报(自然科学版) No．2 第2期 JournalofJilinNormalUniversity(NaturalScienceEdition) May．2004 纳米多层膜和复合超硬涂层的研究进展 郑伟涛，白晓明，安 涛 (吉林大学材料科学系，吉林长春 130012) 摘 要：本文综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展，详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的 致硬机理和设计方法，分析了Ti／TiN、氮化物／氮化物多层膜和Ti—si—N及rri一 一sj—N系复合膜的最新研 究现状，指出了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向． 关键词：纳米；多层膜；复合膜；超硬 中图分类号：TB383，0484 文献标识码：A 文章编号：1000—1840一(2004)02—0001—07 1 引言 纳米结构涂层由于其独特的物理、化学特性引起了人们越来越广泛的关注，与