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磁控溅射制备VO_2薄膜和其红外相变特性_徐凯.pdfVIP

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  • 2015-09-06 发布于安徽
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磁控溅射制备VO_2薄膜和其红外相变特性_徐凯.pdf

    第３ 卷 第 期 材 料 科 学 与 工 程 学 报 总第 期 ３ ３ １５５ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｖｏｌ．３３ Ｎｏ．３ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅ＆ Ｅｎ ｉｎｅｅｒｉｎ Ｊｕｎ．２０１５ 　 　 　 　 　 ｇ ｇ 　　　 文章编号： ２ （ ） ０ ０ １６７３ ８１２２０１５０３ ３７２ ５ － － － 磁控溅射制备Ｖ 薄膜及其红外相变特性 Ｏ ２

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