力平衡角加速度传感器的研究.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 #- - #. / 力平衡角加速度传感器的研究! # 迟晓珠 金鸿章 王劲松 哈尔滨工程大学自动化学院 哈尔滨 # 哈尔滨工业大学 哈尔滨 $ %’ $ %’ 摘要 在开环压阻式角加速度的基础上 对敏感质量环进行力反馈 提出闭环力平衡系统的设计方案 经试验验证 力平衡压阻 ( ( ( ( 式角加速度计具有灵敏度高