微机电系统中基于模态展开和边界元法的静电-结构耦合高效分析方法.pdfVIP

第42卷第7期 机械工程学报 v01．42No．7 2006年7月 Jul． 2006 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING 微机电系统中基于模态展开和边界元法的 静电一结构耦合高效分析方法木 李 普 (东南大学机械工程系南京210096) 摘要：为了提高微机电系统中静电一结构耦合数值计算速度，提出了一种新的针对微结构小变形的静电一结构耦 合高效率数值计算方法。该方法将用于结构分析的微梁线性方程与用于静电场分析的边界积分方程相结合，微梁 方程部分用标准的模态分析法处理，静电边界元方程则采用边界元法处理，并且将边界元方程用1’aylor级数在微 梁未变形的位置展开，以使静电计算能在微梁未变形的位置进行。同以往的常规算法相比，当微结构变形微小时， 使用该方法，微结构变形后的面电荷密度可以在微结构未变形中计算，从而大大提高了静电一结构耦合数值计算 效率。将该方法的计算结果与已有的文献计算结果和ANsYs的计算结果做了对比，验证了本方法的正确性，并 且计算效率有显著提高。 关键词：静电一结构耦合分析MEMS边界元法 TN405 中图分类号：TN402 一般都重新划分网格，重新生成单元阵、整体阵， O前言 以适应结构大变形。 作者提出了一种新的针对结构小变形的静电一 在各种MEMS系统中，利用静电力驱动机械部结构耦合计算方法。以微梁为例，该方法在计算静 件是最常用的驱动方式[1‘2J。由于MEMS器件一般电区域的边界元方程中，将结构变形用各阶模态函 比较复杂，只能采用数值方法(有限元／边界元)分析 数的线性组合近似，推导出了新的静电一结构耦合 静电一结构耦合问题。这些数值方法在求解过程中 方程。由于方程中的所有元素都是相对结构未变形 一般都要重新划分网格，计算量很大，尤其是有限 元法，在需要多次调用有限元的优化设计过程中效 构和静电区域都不需要重新划分网格，方程中的所 率非常低。因此，发展高计算精度、高计算效率的 有元素都不需要更新。也就是说，这种方法只需在 耦合数值分析方法是非常必要的。 结构未变形时，对结构和静电区域划分一次网格即 method”法相比， 目前的静电一结构耦合数值方法主要是 可。同ANSYS中的“Sequential J。这些算 这种方法对静电求解区域也不需要重新划分网格， “Selfconsistent”法及其各种改进算法【1．7 法按结构变形大小可以分为两大类：一大类是结构 不需要重新生成单元阵和整体阵，理论上，这将大 小变形时的耦合计算方法；另一大类是结构大变形 大加快计算速度。最后，以参考文献[5]的两端固定 时的耦合计算方法。在第一大类算法中，结构是小 微梁为例，将这种新方法的计算结果与参考文献【5】 变形，但对应的静电求解区域变化大，所以在求解 的计算结果、ANSYS“Sequemial 过程中对结构不需要重新划分网格，只需对静电求 算结果做了对比。结果表明，这种方法的计算精度 解区域重新划分网格，重新生成单元阵和整体阵。 与ANSYS中“Sequential 这类算法以商业软件包ANSYS中“Sequential以用于提高结构小变形时的静电一结构耦合计算