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溶胶-凝胶法制备（Na0.85 K0.15）0.5 Bi0.5 TiO3铁电薄膜晶化行为研究.pdf
年第 期( )卷
2638 2013 18 44
文章编号: ( )
1001-9731 2013 18-2638-03
溶胶 凝胶法制备( ) 铁电薄膜晶化行为研究∗
- Na K Bi TiO
0.85 0.15 0.5 0.5 3
,
1 2 1 1
, ,
陈春天 朱汉飞 王东生
( , ;
1.哈尔滨理工大学 应用科学学院 黑龙江 哈尔滨 150080
, )
2.哈尔滨理工大学 工程电介质及其应用教育部重点实验室 黑龙江 哈尔滨 150080
: ( ) / / / , ( ) ,
摘 要 利用溶胶 凝胶法在 衬 度高于或低于 时 薄膜呈现良好的 取向
- 111 Pt Ti SiO Si2 450℃ 111
底上成功制备了无铅( ) ( 并且热解温度的不同使薄膜的电性能产生巨大差异;
Na K Bi TiO NK-
0.85 0.15 0.5 0.5 3
[ ]
) 。 ( ) 12
BT 铁电薄膜 利用XRD 和原子力显微镜 AFM 分 等 也发现热分解温度对 ( ) 薄
Chi Pb Zr Ti O
0.52 0.48 3
。
别对薄膜的晶化行为和表面形貌进行了表征 结果表 ,
膜的相组分和铁电性能有强烈影响 随着热分解温度
, ,
明 在一定温度范围内 随着热分解温度和退火温度的 从 上升到 , 薄膜逐渐由三方相过渡到
350℃ 450℃ PZT
2
, ,
升高 薄膜的晶化程度变得越来越完全 晶粒变得更加
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