基于多功能加工平台的微细电解加工工艺.pdfVIP

第40卷第6期 上海交通大学学报 v。1．40N。．6 2006年6月 JOURNAL0FSHANGHAIJIAOTONGUNIVERSITY Jun．2006 文章编号：1006—2467(2006)06—0909—05 基于多功能加工平台的微细电解加工工艺 李小海1， 王振龙1， 赵万生2 摘 要：利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极，在 低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下，利用高速旋转工具电极和微电流密 度下电解钝化作用，实现了微米级的微细电解加工．通过工艺实验，研究电压、电解液浓度和进给速 度等参数对加工间隙的影响，优化工艺参数．在优化加工条件下，在厚为100肛m的不锈钢薄片上 微细电解钻削出疹65肚m的微小孔．针对成型电极在微细加工中暴露出的缺点，提出了利用旋转 微细电极像微铣刀一样进行微细电解铣削新工艺，加工出高精度型孔和悬臂梁等微结构． 关键词：多功能平台；微细加工；电解加工；高频；脉冲电源 662 文献标识码：A 中图分类号：TG TheElectrochemical Basedon Micromachining MultifunctionToolfor Micromachining 2 LIXiao—hai1．WANG Zhen—lon91，ZHAOWan—sheng Mechanical Inst．of 150001，China； (1．Dept．of Eng．，HarbinTechnology，Harbin ofMechanical 200030) 2．School JiaotongUniv．，Shanghai Eng．，Shanghai forelectrochemicalmip the ofmultifunctiontool，themicroelectrodes Abstract：Throughdevelopment fabricatedon—linemicroelectrical low be discharge cromachining(EMM)canby concentrationand current，the electrolyte high—frequencyshort—pulse machiningvoltage，lowpassivity electrodeand EMMatmicro—scalecanberealized electrolyticpassivationeffect．Bypro— byusingrotary the onmachi—