平面平晶计量检定中存在问题的分析及改进建议.pdfVIP

维普资讯 ·76· 平面平晶计量检定中存在问题的分析及改进建议 私 一 平面平晶计量检定中存在问题的分析及改进建议 ，了If7 6 型 高振 杨空荣 新疆石油 ； 术特测中心，834000新疆克牡玛依 1l7蚶l1 摘 要 针对平面平晶在计量特定中常出现的问邂，如：如何客观反映平晶工作误差?如何确定干涉条鼓i：1隔与最大弯曲量 的比值，以飘如何取定干涉条鼓敷 目午．具体深入地分析 了每一个问邂产生原因扣改进方法． 主题词c强，缈 检测删 嵇迢 大弯曲量b的比值b／a如何确定呢?有些同志认为 1 前言 应该取其弯曲量与相邻的间隔来评定才能得出最大 平面平晶是以光波干涉法测量平面的平面度、 的