压电致动微雾化器的压电-固-液耦合特性分析.pdfVIP

第31卷第6期 压电与声光 V01．31No．6 2009年12月 PIEZOEI，ECTRICS8LACOUSTOOPTICS Dec．2009 文章编号：1004—2474(2009)06—0827—03 压电致动微雾化器的压电一固一液耦合特性分析 杨明伟，周兆英 (清华大学精密仪器与机械学系．北京100084) 摘要：针对微雾化器存在的多能域能帚耦合问题，建立了压电微雾化器的固一液一声耦合模型，对其耦合特性 进行了数值计算。并着重分析了液体层厚度对耦合性的影响，得到了液体层厚度对系统的结构振动、声压力波特性 的影响规律。结果表明。由于液体层与固体的耦合作用，压电振子振动的同时，喷孔膜也产生振动，并且两者问存 在相位关系；液体层的厚度直接影响结构的耦合性、谐振频率大小及背膜与喷孔膜的相位差，并且存在最佳的设计 参数，当液体层厚度为500弘m时。谐振频率最大约是38kHz，此时，可产生较大的声压力波及较大的流量。微雾化 器设计时只考虑压电振子的振幅是不全面的，必须同时考虑喷孔膜的振动及与背膜的相位关系，新的设计原则可 为微雾化器的优化设计提供指导依据。 关键词：微雾化器；固一液耦合；声压力波；微机电系统(MEMS) 中图分类号：TN384；R318．6文献标识码：A of CharacteristicsofMicroNebulizer AnalysisPiezoelectric。solid—liquidCoupling YANG Ming-wei．ZHoUZhao-ying Precision 100084．China) (1．Dept．of Instruments，TsinghuaUniversity．Beijing of micro Abstract：Aimedatthe of nebulizer，a problemmultiple-domaincouplingpiezoelectric typicalpiezoelec— modelwasbuilt FEMmodelwas forthis COU— tric—solid—liquidcoupling up．A presentedpiezoelectricliquid—structure onthethicknessof onthe the liquidimpact of resultsshowedthatwhen piingsystem，focusing couplingsystem．The the actuatorwas ofthe ofthe and vibrated，because solid，nozzle-filmalsowas piezoelectric couplingliquidlayer gen— eratedvibrationatthesametime，andthe occurredtO phaserelationship them；the of