气体传感器的研究与发展.pdfVIP

维普资讯 2 。 ( L^哗 气体传感器的研究j与发展0 --≯、 刘 ¨威≮ ≮、≯≮ ?、 ’- _ ·-I_ _ - ● ‘■ ■ ( 山大学化学与化i学碗 i 洲 5l砸75 摘要 叙述 了国内外气体传感器的研究与开发情况。尤其是对 s力 气体传感器的研究现状做了综合性阐述 ，并且介 绍了其它类型的气体传感器的研究开发现状。 美键词 一竺竺墨量 被 誊望一要苎 ) b娲 ， 通常 ，将能够感受外界信息并按一定规律转换成 袅 1 几种常用氧化橱气敏传盛嚣 可用信号的装置称为传感器。传感器的应用很广 ，可 以用来测定各种物理量、化学和生物信息以及其他多 种信息。化学传感器主要检测 的是化学物质 的种类 及其浓度 。其 中气体传感器是化学传感器 中的一大 类。 曩m、c 、 ： ll 一下 金属氧化物半导体气体传感器的 譬、一．。移五《誊≮一一_乡 研究开发 气敏传感器主要用于环境 中各种气体 的检测。 。 早期对各种气体的检测主要采用电化学或光学方法 ，Z 传感器及传感器阵列、电子鼻等方面，也有长足的进 其检测速度慢、设备复杂 、成本高、使用不方便。随着 步 ·。可以说 ，气体传感器是化学传感器中最重要的 煤气 、石油气和天然气 的开发利用，各种气体灾害的 一 类，无论在研究内容的广度、深度以及论文发表的 危害性随之增加，需要对各种易燃、易爆和有毒气体 数量上都是各类传感器之冠。从检测的气体来看，气 进行及时的检测，原有 的旧方法不能满足这一要求。 体种类由还原性气体 ( 、c4IIl c …)扩展到毒性 60年代初．人们发现并利用金属氧化物半导体的气 气体 (CO、NO2、 s、NH3…)、环境气体 (co”so2、o2、 敏特性研制出可燃气体传感器 (表 1)…。 … )等，这就要求气体传感器具有更高的灵敏度、选 目前国外气体传感器在研究、开发及应用等方面 择性、重复性及稳定性。改进现有材料的物化性能． 都取得了较大的进展。特别是 日本，在半导体气体传 对其进行合理的设计与加工 ，使其敏感特性最优化是 感器的研制上 已走上实用化。如 日本费加罗公司 已 气体传感器 的基本研究课题。从气体传感器材料的 推出TGS系列20多种产品。欧美等国在微结构气体 研究动 向来看 ，金属氧化物半导体材料 ZnO、SnO 维普资讯 化工纵横{Comments＆ReviewsinC．f．》 F O3等 已具备较好的性能，现主要研究方 向是利用 为，当 sno2气敏器件置于空气 中，其表面会吸附氧 ， 化学、物理方法对其进行修饰改性，以进一步提高传 氧从 sno2表面获得电子 ，在 she2颗粒表面区域产生 感器的选择性和长期稳定性。为此 ，国内外学者在探 一 个电子耗尽空间电荷层 ，形成受主型表面能级，并 索新材料的同时，对以She2为主的这类半导体进行 使表面电导降低 J。当 sno2接触还原性气体如 H’、 掺杂 ，改进其微结构