基于SEMI(R)F57-0301标准下,新一代化学品输送过程中,阀门管接件及其材料的选择、设计、生产和测试.pdf

EMI⑩F57一O30 基于S 1标准下， 新一代化学品输送过程中，阀门管接件 及其材料的选择、设计、生产和测试 M．Hanson，RonnieA．Browne， James 0SwageiokC0mpanyl 摘要：本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统，阀门的 F57-0301为标准，对更加苛 选择、设计、生产和测试的问题。针对半导体工业发展的需求，以sEMI 刻的应用进行了预先考虑和阐述。所阐述方法和理论同样适用于流量计，过滤器，调节阀等组件。 前言 发布。这份文件的目的是制定半导体超纯水和化学 半导体工业发展的趋势是不断地改善液体分配 分配系统中对于超高纯聚合物组件的最胝要求。它 系统的组件的性能和可靠性，表现在液体工艺流程 所制定的标准集中在一些基本要求上，包括对供应 中新的工艺和材料的全面增加，例如化学机械平板 商纯度要求、机加工要求(尺寸容许值，流量特 设备上用的研磨浆。过去用的HCl和HF，现在征，泄漏率的一致性，机械力矩)，纯度要求包 使用温度和压力越来越高。同时，半导体的趋势是 括： 晶圆尺寸越来越大，线宽越来越细，而要想增加线 ●颗粒度 厚，必须要求液体过程的组件采用超高纯洁净级 ●离子污染度 别。 ●金属污染度 有两点我们必须明白：增加产量和收益的必备 ●总有机碳污染度 条件是不仅要直接针对生产过程，而且是针对全系 ●表面粗糙度 统的组件性能。SEMIF57—030l清楚地阐述了改善 发展的历程 组件纯度的要求，并朝此趋势发展。 新一代含氟化合物阀门系列的发展必须从彻底 含氟聚合物材料的供应商如Dupont，Dyneon，和 其他厂家，都在不断地改善应用在液体分配系统组 了解客户的需求开始，我们和主要的0EM商、设 备制造商、集成商等讨论，了解了在液体输送系统 件原材料的纯度，例如，将451HP更改为950HP 材料，可是这个方法是有限的，进一步提高要靠组 中当今和潜在的对超高纯阀门的要求。我们回顾了 件的设计和生产公司来完成。 高纯阀门的历史，明白了它们的作用和相对局限 性，识别了当今客户的需要。随着信息的汇总，新 SEHIF57—0301 一代的高纯阀门有了开发目标。 这个标准在2000年10月18日被北美地区标准 对当今重要情况的总结如下： _semjGonduGcorvbJ．30Ⅳo．845 2005 T|echnoJogy AugusC 万方数据 ●客户清晰地认识到他们的需要，想要改进高 纯阀门； 机加工生产最终产品。另一方面，PFA生产中有 ●一些过程和生产的问题可能直接的归咎于目