基于隧道效应的振动检测反馈系统设计.pdfVIP

第29卷第4期 河南科技大学学报：自然科学版 V01．29No．4 2008年8月 JournalofHenan ofScienceand Science Aug． 2008 University Technology：Natural 基于隧道效应的振动检测反馈系统设计 陈帆，傅星，李梦超 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) 摘要：针对扫描隧道效应对环境的苛刻要求，旨在设计一种主动隔振系统提高STM工作的稳定性，主要基于 隧道效应的原理搭建闭环控制系统，主动适时的响应和补偿振动的干扰。硬件部分包括以DSP为核心的高 速精确的测控电路，软件部分解决了数字滤波和PI控制算法在提高控制性能上的关键问题。并利用仿真现 象和实验结果进行控制特性和动态响应的分析，证明其良好的实时控制效果。 关键词：隧道效应；反馈控制电路；PI控制算法 中图分类号：TP273 文献标识码：A 0 前言 作为纳米