基于隧道效应的振动检测反馈系统设计.pdf

第29卷第4期 河南科技大学学报：自然科学版 V01．29No．4 2008年8月 JournalofHenan ofScienceand Science Aug． 2008 University Technology：Natural 基于隧道效应的振动检测反馈系统设计 陈帆，傅星，李梦超 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) 摘要：针对扫描隧道效应对环境的苛刻要求，旨在设计一种主动隔振系统提高STM工作的稳定性，主要基于 隧道效应的原理搭建闭环控制系统，主动适时的响应和补偿振动的干扰。硬件部分包括以DSP为核心的高 速精确的测控电路，软件部分解决了数字滤波和PI控制算法在提高控制性能上的关键问题。并利用仿真现 象和实验结果进行控制特性和动态响应的分析，证明其良好的实时控制效果。 关键词：隧道效应；反馈控制电路；PI控制算法 中图分类号：TP273 文献标识码：A 0 前言 作为纳米级材料表面分析仪器，扫描隧道显微镜(STM)广泛应用于物理学、化学、生物学和材料学 等领域的微观研究。STM基于量子力学隧道效应原理，纵、横向分辨率分别达O．0lnm和0．1nm，具有 高精度高分辨力的优势…。由于工作时探针与试样间为几个原子层的距离，外界环境的任何微小振 动，例如实验室所在建筑物的微小振动，将导致探针相对于试样作不需要的附加运动，甚至是破坏性 的操作，因而排除外界环境扰动对STM的影响是我们关心的问题。由于振动对扫描隧道显微镜工作稳 定性的巨大影响，国内外主要的研究集中在对仪器的设计和振动的隔绝上，主要集中在利用隔振平台和 设计的机械结构对外界振动进行屏蔽。31，这仅是被动的振动隔绝的方法，不能对振动进行完全的隔 绝，而针对扫描隧道显微镜纳米级振动补偿的国内外资料相对很少，研究成果不够成熟。 通过试验证明，对环境的苛刻要求使得STM不能工作在开环系统中，必须通过控制系统适时在线 调整，防止微小扰动引起撞针，基于隧道电流反馈回路质量的优劣是设计的关键因素之一。考虑到基于 隧道效应的振动检测可以对STM工作时受到的干扰进行全补偿，属于主动的补偿方法，对振动的隔绝 能起到更好的效果。本文将针对整个反馈系统的设计进行详细介绍。 1 隧道效应和整体反馈系统 隧道效应也叫做隧穿效应，它是量子力学中一种粒子跃迁的现象。在隧道状态下隧道电流与隧道 间隙呈负指数关系变化，当针尖与样品间隙改变O．1nm，隧道电流就会改变一个数量级，扫描隧道显微 镜是基于隧道效应工作的H-。 基于隧道电流对针尖和样品表面之间的距离变化的敏感性，可达到高精度的振动测量目的，设计一 套基于STM的主动隔绝振动系统。该系统主要包括：STM测头，隧道电路转换变送电路，信号采集和反 馈控制电路板，精确定位装置，控制执行器几部分。系统结构见图1。 STM测头关键在于针尖结构，理想的针尖其最尖端只有一个稳定的原子，通常用钨或铂铱合金为 针尖材料，经过场蒸发等特殊工艺制备成探针针尖，灵敏度较高，稳定性较好。IV转换电路的作用是把 外界微弱振动的信号转变成电信号，便于测量和处理，采用了TI公司的超低偏置、低失调、低漂移、高开 环增益、高共模抑制比的电流单片运算放大器OPAl28，和精密电阻来保证转换的精度；并通过屏蔽隔离 技术有效解决了外部干扰信号的影响，分辨力达到0．1pA。本系统使用德国生产的纳米测量机NMM作为 基金项目：国家自然科学基金资助项目 作者简介：陈帆(1984一)，女，河南洛阳人．硕士生；傅星(1957一)，男，天津人，教授，博士生导师，研究方向为微纳测试技术及 自动控制技术． 收稿日期：2008—02—24 万方数据 ·78· 河南科技大学学报：自然科学版 2008焦 调整机构，确保进入隧道状态的可操纵性和稳定性。控制执行器采 用了PI公司的S-303直接计量型高速压电移相器，基于压电三角驱 动的快速、紧凑的系统，工作于一2一12V的驱动电压范围在3斗m行 程内具有埃米级的分辨率，和毫秒级的响应和动态稳定性能。 整个主动隔振