基于DMD全息光刻的软件设计.pdfVIP

基于DMD全息光刻的软件设计 王国庆1、2一，龙沪强3，姜兆华1～，吴宾初1’2 (1上海市激光技术研究所，上海200233：2上海市激光束精细加工重点实验室， 上海200233；3上海交通大学，上海200240) 摘要论文所阐述的控制软件是在DMD光刻系统硬件平台的基础上进行设计一全息图像光刻 软件，通过对原始图像预先数据定义，再按色分层处理，并按索引色排列顺序读取，由D锄光 刻投影系统实现全息图像多方位角的分层光刻。 关键诃DMD控制：数字微镜；BMP动画显示；全息光刻 l设计思路 本文从实际应用出发，以成熟的数字微镜为核心、全息干涉光刻系统为硬件平台进行软件 设计。设计原理是将位图文件通过调色板处理后，根据色深，控制数字微镜在光刻时的翻转时 序，分层在DMD上显示，逐层曝光到光刻胶板上，最终实现数字微镜图像的面阵干涉光刻，得 到一个高分辨率、高质量、多方位角的面全息干涉图形。 2软件设计 本程序运用VB为软件开发平台，主要功能是对加载的图像根据色深进行处理，处理后图片 为黑白色，以便数字微镜的翻转显示，并通过数字微镜逐层曝光在光刻胶板上。图片处理及控 制过程中需要解决从彩色位图文件得到黑白分色图形文件的问题。若能顺利解决这个问题，软 件便可实现预想的功能，进行后续的开发。要从彩色位图文件得到黑白分色图形文件可以通过 利用API的调色板函数直接用调色板替换系统调色板来实现。 DMD可以根据计算机给出的VGA信号进行显示，本软件的功能旨在对BKP图片进行分色处 理，并连续动画显示。通过保存多幅画面，然后再连续播放这些画面可以表现动态效果，本设 计采用调色板动画，利用对系统调色板的直接访问，实现“对显示的位图没有真正改变”的动 画制作。这种方法适合于颜色周期性变化的图像动画显示。 实现调色板动画主要有以下四个步骤： 1)创建自己定义的逻辑调色板； 2)将这个自定义的逻辑调色板选入要进行操作的设备环境中； 3)在这个设备环境中利用逻辑调色板中的颜色来绘制图形； 4)周期性地改变逻辑调色板中的颜色值，并使其立即反映到系统调色板中。 本控制软件实现光刻的流程：打开BblP文件并加载，根据返回色深值计算需处理的图片次 数及循环显示次数。比如，对位图文件根据每个颜色进行调色板修改，第一个颜色A区域通过 调色板修改为黑色，图片其它区域改为白色显示，完成光刻后，第二个颜色B区域通过调色板 修改为黑色，图片其余区域改为白色显示，以此类推直至图片的每个颜色都有显示即色深次循 环结束。如此连续显示实现动画效果，进而实现全息图像的DMD面阵分层光刻。 3结论 本文通过参照vB中BblP图像文件的文件格式和API调色板函数实现了位图文件的读写、修 改该位图的调色板数据，并连续显示图像中各色阶，最终实现光刻系统中DMD显示的软件控制 功能。 175