国外高真空直排大气干泵研发最新进展.pdfVIP

国外高真空直排大气千泵研发的最新进展 刘坤 巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶 (东北大学真空与流体工程研究中心，沈阳110004) 摘要：为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化，人们一直 在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年，国外已经{l；现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气 的全部抽气过程的高真空直排大气干泵，并实现了商业化，已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国 BOC Edwards公司的EPX干泵和德国PfeifferVacuum公司的OnTool干泵为例，简单介绍了其原理、结构、性能， 为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考和启示． 关键词：干式真空泵高真空直排大气研究进展 中图分类号：TB752 文献标识码：A ． 近年来，人们已研制了多种类型的干泵，广泛用于半导体工业、分析仪器、电子工业和化工行 业等真空应用的各个领域。干泵或干泵机组维护简单、清洁无油，经常是真空获得设备中首选的主 泵。比如，半导体行业中的真空室中，一般需要达到10-3Pa或者更高的真空度，这时就需要为它们 配置高真空系统。一般说来，为了获得清洁高真空，需要串联多台工作在不同压力区域的真空泵构 成机组，来完成抽气任到¨。典型的高真空机组，通常用高真空泵串接干泵来组成，高真空泵如分 子泵、低温泵等，前级泵如爪型泵、罗茨干泵、涡旋泵、螺杆泵、活塞泵、膜片泵等[21。 采用高真空机组，不仅需考虑各种真空泵的工作压力范围，而且系统中的真空泵、连接管道、 阀门、真空计等辅助元件以及它们的控制单元使得这套系统成本很高。典型的高真空系统至少额外 需要三个阀门和一个旁通管路。在半导体工厂中，前级真空泵一般都安装在生产车间的下一层，使 得前级泵的抽速损耗加大很多，因此必须选用昂贵的、性能好的泵。此外，在现代工业中的一些真 空应用场合，如太阳能电池制备、半导体器件制备、小型精密实验设备等，由真空泵机组带来的占 用空间庞大、维护麻烦、抽气效率损失等问题，影响了工艺的进行。 为了降低半导体设备中真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、一体化和微型化，人 们一直在寻求能达到高真空，并且可以直排大气的真空泵。近几年，国外已经出现了一些高真空直 排大气的干泵，并开发出商业化的产品，已经应用于实际生产中。 本文以其中具有代表性的英国BOC 泵14J为例，简单介绍了其原理、结构、性能，为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。 1EPX干泵 英国BOC 全部抽气过程。EPX干泵利用分子牵引、流体动力学和内流动机理，采用创新的旋涡级结构，实现 了高真空泵的直排大气，可适合于中等程度的半导体工艺。EPX500L型干泵外形如图113】所示，抽 速为500m3／h，极限真空可达到10qPa。 EPX干泵内部分为三级：螺旋级、牵引分子级和旋涡级，其抽气原理如图2【3】所示。 靠近气体入口处的单轴大螺旋结构为第一级，主要是完成大排量的吸气传输过程，压缩比很小， 型线较为简单【7-81。 第二级为Holweck级，即牵引分子泵的工作原理。如图313J，它由一个内外具有平行的螺旋槽的 圆筒定子和一个简单圆筒的转子配合组成。由于EPX干泵采用双层的内外定子与转子套装的方法， 由于惯性作用，使得气体分子沿高速旋转的转子面的爬行路线得到了延长，而且螺旋槽长度不足一 圈，压力在每个轨道中分配均匀，轨道间不容易发生渗漏，从而得到了较大的压缩比和抽速，并有 3 ——：业2‘型塑(望直地区l盥=i三!{巍生照盛建韭__—壁L i：煎戛垒=!；三金芏鲞生垒垒这睦塞 绶减少r气体返流畦，其≯、际拙遵与理论抽述捆蕈不超过百分之五” 冒 湖1EPX500L型{采外形目 I—R0#．2Ho]w％kg1_#f．4{f HoJw％k Reg“t∞【l…nⅣ2 sm擀，】roc“O‘4sm【n。 FigPictur